傾斜モデルを用いたITOの構造解析
液晶ディスプレイなどに用いられる透明電極材料であるITO（Indium-tin-oxide）は、製膜後のアニール処理（熱処理）によって導電性や色味が向上します。その際、酸素状態や結晶性も変化しますが、この変化は膜の厚みに対して段階的に傾斜変化することがあり、光学的に組成が均一な単層膜として見なすことができません。 このようなITOに対し、傾斜モデルを用いて、上部界面と下部界面のnkから、傾斜の度合いを測定した事例を紹介します。
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基本情報
"●膜厚測定範囲： 1nm～35μm（機種選択による） ●測定時間 ： 1秒／1ポイント ●測定径 ： φ5μm、φ10μm、φ20μm、φ40μm"
価格帯
納期
用途／実績例
●機能性材料 ： 光学フィルム（AR膜、ベースフィルム、ITO、WET膜など） 機能性材料（SAW／BAWフィルター、レンズ、DLC膜、ポリイミドなど） 医療用材料（カテーテル、バルーン、鉗子など） ●半導体 ： Si半導体（SiO２/Si、レジスト/Si、SiO2/a-Si/SiO2/Si、SOI、Siなど） 化合物半導体（a-Si/GaAs、Al2O3/GaAs、a-Si/Al2O3/GaAs。SiC、GaN、Ga2O3など）
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企業情報
大塚電子は、独自の｢光｣技術を用いて、大塚電子にしか出来ない画期的な新製品を作り出しています。 創業以来積み上げてきた要素技術を融合させながら、医用機器、分析機器、分光計測機器という3つの事業を展開しています。 【医用機器】 親会社である大塚製薬をはじめ、試薬メーカーなどと連携した、臨床検査機器、医療機器の開発・生産を主体とする事業を展開。最新テクノロジーを集結し、人々の健康に貢献しています。 【分析機器】 新素材解析のコアテクノロジーである光散乱の技術を、ナノテクノロジー領域の物性測定に応用。粒子径、ゼータ電位、分子量の測定法を基準に、新素材、バイオサイエンス、高分子化学、さらには半導体や医薬分野などへの展開を図ります。 【分光計測機器】 分光計測技術の代名詞であるマルチチャンネル分光器と、長年にわたって培ってきた解析技術の蓄積による製品群を生み出しています。多様化するニーズに応えながら、幅広い分野へと拡大し続けています。
