Cl2・HClのリーク、腐食、除害リスクを抑える小型塩素炉の安全設計
Cl2、HClなどの腐食性・有毒ガスを高温で扱う場合、「安全に運用できるのか」という点が最も大きな懸念になります。 小型塩素炉では、単に塩素ガスを流せるだけでなく、炉外漏洩、接ガス部の腐食、未反応ガスの排出、異常時の遮断、スクラバー連動まで含めた安全設計が重要です。 当社の小型塩素炉は、真空・減圧運転を基本とし、炉内圧を大気圧より低く保つことで、Cl2/HClの炉外漏洩リスクを低減します。 また、接ガス部の腐食対策、ガス検知、非常遮断、パージ手順、除害設備との連動を含めて、運用時のリスクを管理しやすい構成を検討できます。 【本資料でわかること】 ■ Cl2/HCl処理で想定すべき安全リスク ■ 真空・減圧運転によるリーク対策の考え方 ■ 接ガス部の腐食対策と材料選定のポイント ■ パージ、流量、滞留時間など運用設計の重要性 ■ ガス検知、非常遮断、スクラバー連動の考え方 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください
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基本情報
【安全設計のポイント】 ■ 真空・減圧運転 ・炉内圧を大気圧より低く保ち、Cl2/HClの炉外漏洩リスクを低減 ・腐食性ガス使用時の基本安全思想として、負圧側で運用 ■ 接ガス部の腐食対策 ・Cl2/HClが接触する炉体、配管、シール部の耐食性を考慮 ・高温ガス環境でも腐食しにくい構成を検討 ・CE、SEMI、UL規格認証に対応した設計検討も可能 ■ 運用手順の標準化 ・立上げ、パージ、ガス導入、処理、排気、停止手順を整理 ・流量、温度、圧力、滞留時間を管理し、再現性と安全性を確保 ■ 異常時の安全対策 ・ガス検知器、非常遮断弁、インターロックとの連動 ・未反応Cl2/HClや副生成ガスを考慮したスクラバー連動 ・異常時に安全側へ移行しやすいフェイルセーフ設計 ※仕様は処理温度、ガス種、流量、圧力、除害条件に応じてご提案します。
価格情報
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納期
用途／実績例
【このような方におすすめ】 ■ Cl2/HCl処理を検討しているが、安全面に不安がある ■ 腐食性ガスを使った小型試験炉を探している ■ 金属不純物除去や選択塩素化をドライプロセスで検討したい ■ 既存炉で塩素ガスを扱うことに不安がある ■ ガス検知、非常遮断、スクラバー連動まで含めて装置検討したい ■ 試験炉で条件確認後、量産炉への展開を考えたい 【適用分野】 ■ Cl2/HClによる金属不純物のドライ除去 ■ 酸化物・金属・セラミックス粉末の選択塩素化 ■ 石英、SiC、AlN、カーボン、セラミックス治具の洗浄検討 ■ 腐食性ガス雰囲気での材料評価 ■ レアメタル・金属成分の分離、回収 ■ 湿式処理から乾式処理への置き換え検討 材料、対象不純物、処理温度、ガス濃度、除害条件が未確定の段階でも、用途に応じてご相談いただけます。
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企業情報
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
