半導体製造装置の周辺機器に対して豊富な実績を持つ 修理・改善サービス をご提供しております。
アルクトス精密株式会社は、半導体製造装置およびその周辺機器に関する 設計・製作・改造・修理・販売をトータルサポート ロボット修理・オーバーホールサービス 純正部品使用/標準検査手順/短納期/低コスト/高信頼性と品質管理 各メーカー製搬送ロボットの分解点検、部品交換、オーバーホール対応 コントローラー修理・再調整 ウエハ搬送テストによる動作確認 新規ロボットの特注対応・カスタマイズ提案 設備・部品関連サービス カスタム設備設計・開発・改造:自動化設備の新規開発、既存設備の最適化 各社Parts販売:主要メーカーの純正・互換パーツを国内外に供給 真空部品/ベローズ/真空バルブのオーバーホール:真空環境機器の整備・修復 コントローラー、電源、PCBボード、RFジェネレーター、DC電源、マッチングボックス修理: 故障解析から動作確認まで一貫対応
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基本情報
当社の強み 技術力 × 迅速対応:経験豊富な技術者による短納期・高品質対応 ワンストップサービス:設計・開発・販売・修理・改善を自社内で一貫実施 高信頼品質管理:純正部品・標準検査手順に基づいた再現性の高い修理品質
価格帯
納期
用途/実績例
【対応用途】 各種ロボット・自動化設備・真空搬送装置に対応し、 メーカー純正基準に基づいた分解点検・部品交換・調整・再組立を実施いたします。 用途分類主な修理対象修理・オーバーホール ロボット搬送系Daihen・YASKAWA・KAWASAKI 各シリーズ 真空搬送装置系JEL・Rorze・MECS シリーズ プロセス装置連携系TEL / AMAT / ULVAC 製ユニット 自動化ラインカスタム設備特注ロボット・搬送治具・周辺装置 【実績】 パネルメーカー AUO — G3.5 / G4 / G5 ライン InnoLux(イノラックス) — G5 ライン CPT — G4.5 ライン Giantplus Technology 半導体メーカー Micron(台湾マイクロン) Powerchip(PSMC ) VIS(Vanguard International Semiconductor) UMC(United Microelectronics Corporation) Mxic(マクロニクス・インターナショナル) ULVAC(株式会社アルバック)
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