腐食性ガスによる炉材劣化・リーク不安を抑え、ハロゲン雰囲気試験を安全に検討
ハロゲンガス（F系、Cl系など）を伴う高温プロセスでは、一般的な電気炉ではヒーター、炉材、配管、シール材の腐食や劣化が問題になる場合があります。 特に、フッ素系ガスや塩素系ガスを用いた表面処理、エッチング、洗浄、反応評価では、炉内材料の耐食性、排気・除害、ガス漏洩対策を含めた装置設計が重要です。 当社の小型ハロゲン対応炉は、腐食性ガスを用いた高温処理を小スケールで検討するための試験炉です。耐食材料、スクラバー連動、インターロック、安全機器を含めて、用途に応じた構成を検討できます。 【特長】 ■ F系・Cl系などのハロゲンガス雰囲気に対応 ■ 腐食性ガスを想定した炉材・配管・シール構成を検討 ■ スクラバー、ガス検知、非常遮断との連動が可能 ■ 小型炉で温度・ガス濃度・処理時間を事前評価 ■ 量産炉導入前のプロセス成立性確認に対応 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
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基本情報
【対応できること】 ■ F系・Cl系などハロゲンガスを用いた高温処理 ■ 腐食性ガス雰囲気での材料反応評価 ■ 表面処理、エッチング、洗浄、除膜条件の検討 ■ ハロゲンガスによる炉材・治具・試料の腐食評価 ■ 量産プロセス前の小スケール条件確認 【設備構成のポイント】 ■ 耐食性を考慮した炉体・配管・接ガス部材の選定 ■ パッキン、シール材、継手部の腐食・リーク対策 ■ 排気ライン、スクラバー、除害装置との連動 ■ ガス検知、非常遮断、インターロックによる安全設計 ■ 処理温度、ガス種、濃度、流量に応じたカスタム設計 ※仕様はガス種、温度、圧力、処理量、除害条件に応じてご提案します。
価格情報
※納期や価格については、お気軽にお問い合わせください。
納期
※装置の内容次第で価格が異なるため、お気軽にお問合せください。
用途／実績例
【用途】 ■ F系ガス、Cl系ガスを用いた高温反応試験 ■ 半導体・電子材料向けの表面処理、エッチング、洗浄評価 ■ セラミックス、石英、SiC、AlN、カーボン材の腐食・反応評価 ■ 治具、炉内部材、コーティング材の耐ハロゲン性評価 ■ ハロゲン雰囲気での除膜、脱金属、表面改質 ■ 量産設備導入前の小型テスト・条件スクリーニング 【このような課題に】 ■ ハロゲンガスでヒーターや炉材が腐食しないか不安 ■ パッキンや配管からのリーク、安全面が心配 ■ 既存炉ではF系・Cl系ガスを扱えない ■ 試料や治具の腐食性を小スケールで確認したい ■ スクラバーや除害設備まで含めて検討したい ■ 量産炉の前に、反応条件・安全条件をテストしたい 材料、ガス種、処理温度、濃度、流量、除害条件が未確定の段階でも、用途に応じてご相談いただけます。
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企業情報
当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。
