安定したウェーハ搬送を実現する産業用6軸位置決めシステム
半導体製造業界では、ウェーハの正確な位置決めが歩留まりを左右する重要な要素です。特に、24時間365日の連続稼働が求められる製造ラインにおいては、高い耐久性と信頼性が不可欠です。位置決めの精度が低いと、製造プロセスに悪影響を及ぼし、不良品の発生につながる可能性があります。当社の6軸位置決めシステムは、ウェーハ搬送における高精度な位置決めを実現し、製造プロセスの安定化に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハの精密位置決め ・半導体製造装置への組み込み ・高精度な検査工程 【導入の効果】 ・製造プロセスの安定化 ・歩留まりの向上 ・24時間365日の安定稼働
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基本情報
【特長】 ・最大速度：20 mm/s ・再現性：±0.05 µm ・最小インクリメンタルモーション：50 nm ・耐荷重：10 kg ・制御： PIMikroMoveソフトウェアを搭載したコントローラー：C-887.4xx1 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績を持つPI社の日本法人として、お客様のニーズに合わせた最適な位置決めソリューションを提供します。世界シェアNo.1のピエゾステージをはじめ、リニアモータ駆動製品や高精度エアベアリングステージなど、幅広い製品ラインナップを取り揃えています。
価格情報
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納期
用途／実績例
・モバイルカメラレンズの組立 ・大規模なレンズアライメント ・光学部品の組立
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
