安定したウェーハ搬送を実現する産業用6軸位置決めシステム
半導体製造業界では、ウェーハの正確な位置決めが歩留まりを左右する重要な要素です。特に、24時間365日の連続稼働が求められる製造ラインにおいては、高い耐久性と信頼性が不可欠です。位置決めの精度が低いと、製造プロセスに悪影響を及ぼし、不良品の発生につながる可能性があります。当社の6軸位置決めシステムは、ウェーハ搬送における高精度な位置決めを実現し、製造プロセスの安定化に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハの精密位置決め ・半導体製造装置への組み込み ・高精度な検査工程 【導入の効果】 ・製造プロセスの安定化 ・歩留まりの向上 ・24時間365日の安定稼働
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基本情報
【特長】 ・最大速度：20 mm/s ・再現性：±0.05 µm ・最小インクリメンタルモーション：50 nm ・耐荷重：10 kg ・制御： PIMikroMoveソフトウェアを搭載したコントローラー：C-887.4xx1 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績を持つPI社の日本法人として、お客様のニーズに合わせた最適な位置決めソリューションを提供します。世界シェアNo.1のピエゾステージをはじめ、リニアモータ駆動製品や高精度エアベアリングステージなど、幅広い製品ラインナップを取り揃えています。
価格情報
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納期
用途／実績例
・モバイルカメラレンズの組立 ・大規模なレンズアライメント ・光学部品の組立
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。
