持ち運び可能なハンディタイプの膜厚測定装置！サンプルを傷つけずに測定
半導体業界の成膜管理においては、高品質な製品を安定的に製造するために、膜厚の正確な測定が不可欠です。特に、薄膜の成膜プロセスにおいては、膜厚のわずかな差異が製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。測定結果のばらつきや精度の低さは、歩留まりの低下や不良品の増加につながり、大きな損失を招く可能性があります。SM-100 seriesは、最薄0.1μmまで検量線不要で膜厚測定が可能で、基材を選ばず、形状のあるサンプルも非破壊で膜厚を測ることができます。 【活用シーン】 ・半導体製造工程における成膜プロセスの品質管理 ・研究開発における薄膜材料の評価 ・製造現場での迅速な膜厚測定 【導入の効果】 ・測定時間の短縮 ・測定結果の安定化 ・不良品の削減
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基本情報
【特長】 ・1.1kgと軽量、持ち運びも簡単 ・最薄0.1μmまで検量線不要 ・基材(ガラス・プラスチック)を選ばない ・形状のあるサンプルも非破壊で測定可能 ・測定時の課題を解決 【当社の強み】 大塚電子は、独自の｢光｣技術を用いて、お客様の課題解決に貢献できる製品を提供しています。創業以来培ってきた技術を活かし、半導体製造における品質管理をサポートします。
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
【測定対象】 ■光学用フィルム ■包装用フィルム ■産業資材用フィルム ■ハードコート ■防曇コート ■防水防湿コート ■反射防止膜 ■離型剤コート ■接着層 ■半導体（薄膜） ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
カタログ（3）
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企業情報
大塚電子は、独自の｢光｣技術を用いて、大塚電子にしか出来ない画期的な新製品を作り出しています。 創業以来積み上げてきた要素技術を融合させながら、医用機器、分析機器、分光計測機器という3つの事業を展開しています。 【医用機器】 親会社である大塚製薬をはじめ、試薬メーカーなどと連携した、臨床検査機器、医療機器の開発・生産を主体とする事業を展開。最新テクノロジーを集結し、人々の健康に貢献しています。 【分析機器】 新素材解析のコアテクノロジーである光散乱の技術を、ナノテクノロジー領域の物性測定に応用。粒子径、ゼータ電位、分子量の測定法を基準に、新素材、バイオサイエンス、高分子化学、さらには半導体や医薬分野などへの展開を図ります。 【分光計測機器】 分光計測技術の代名詞であるマルチチャンネル分光器と、長年にわたって培ってきた解析技術の蓄積による製品群を生み出しています。多様化するニーズに応えながら、幅広い分野へと拡大し続けています。
