さまざまな方向で信頼性の高い位置決めを実行
レーザー微細加工では、わずかな位置ズレや姿勢誤差が加工品質を大きく左右します。 H-815 ヘキサポッドは、6軸同時制御によるサブミクロン精度の位置決めと高い再現性により、 加工点・焦点位置・ワーク姿勢を常に最適な状態に保持。安定した加工品質を実現します。 【活用シーン】 ・加工ばらつきの低減 ・半導体製造装置への組み込み ・高精度な検査工程 【導入の効果】 ・製造プロセスの安定化 ・微細パターンの再現性向上 ・24時間365日の安定稼働
この製品へのお問い合わせ
関連動画
基本情報
【特長】 ・最大速度：20 mm/s ・再現性：±0.05 µm ・最小インクリメンタルモーション：50 nm ・耐荷重：10 kg ・制御： PIMikroMoveソフトウェアを搭載したコントローラー：C-887.4xx1 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績を持つPI社の日本法人として、お客様のニーズに合わせた最適な位置決めソリューションを提供します。ピエゾステージをはじめ、リニアモータ駆動製品や高精度エアベアリングステージなど、幅広い製品ラインナップを取り揃えています。
価格情報
・詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
納期
用途／実績例
・ガラス、セラミックス、半導体基板
カタログ（6）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
