ナノレベルの調整を実現する、開口部付きピエゾステージ
光学系の調整において、光軸のわずかなズレは分解能や測定精度に大きく影響します。特に干渉計や高分解能顕微鏡、精密アライメント用途では、ナノレベルでのZ制御とチップ・チルト調整が不可欠です。 P-518／P-528シリーズは、Z軸100µm／200µmストロークとチップチルト1mrad／2mradの高精度制御を実現。66mmの大開口設計により、透過光アプリケーションにも最適です。高剛性フレクシャガイド構造により安定した再現性を確保し、光学調整作業の精度向上と効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・顕微鏡の対物レンズ・サンプル調整 ・光ファイバーアライメント ・干渉計・波面計測システム ・半導体検査装置 【導入の効果】 ・ナノレベルのZ・角度調整 ・透過光光学系への柔軟な対応 ・安定した光軸維持による測定精度向上 ・調整時間短縮による作業効率改善
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基本情報
【特長】 ・1軸および3軸バージョン ・クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現 ・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ・センター開口部66 x 66mm ・静電容量センサーによる高いリニアリティ 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験に基づき、お客様のニーズに最適なソリューションを提供します。ピエゾステージをはじめ、多様な製品ラインナップと、位置決めに関する豊富な知識で、お客様の課題解決をサポートします。
価格情報
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納期
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用途／実績例
応用例 ・各種計測 ・干渉計 ・光学 ・走査型顕微鏡 ・マスストレージ装置試験 ・レーザーテクノロジー ・マイクロ機械加工
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
