1ポイント1秒測定！半導体製造における膜厚測定を革新。
半導体業界では、製品の品質と性能を維持するために、ウェーハ上の薄膜の正確な膜厚測定が不可欠です。特に、微細化が進む中で、膜厚のわずかな差異が製品の歩留まりや性能に大きな影響を与えるため、高精度な測定が求められます。顕微分光膜厚計 OPTM seriesは、1秒/pointの高速測定と、3μmからの微小領域測定を実現し、半導体製造における膜厚測定の課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハの膜厚測定 ・各種フィルムの膜厚測定 ・光学材料のコーティング膜厚測定 【導入の効果】 ・高精度な膜厚測定による歩留まり向上 ・高速測定による生産性の向上 ・非破壊・非接触測定による製品への影響軽減
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基本情報
【特長】 ・膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約 ・顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数） ・1ポイント1秒以内の高速測定 ・顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外） ・エリアセンサーによる安全機構 【当社の強み】 大塚電子は、独自の｢光｣技術を用いて、お客様の課題解決に貢献します。創業以来培ってきた技術を活かし、お客様のニーズに合わせた製品を提供します。
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企業情報
大塚電子は、独自の｢光｣技術を用いて、大塚電子にしか出来ない画期的な新製品を作り出しています。 創業以来積み上げてきた要素技術を融合させながら、医用機器、分析機器、分光計測機器という3つの事業を展開しています。 【医用機器】 親会社である大塚製薬をはじめ、試薬メーカーなどと連携した、臨床検査機器、医療機器の開発・生産を主体とする事業を展開。最新テクノロジーを集結し、人々の健康に貢献しています。 【分析機器】 新素材解析のコアテクノロジーである光散乱の技術を、ナノテクノロジー領域の物性測定に応用。粒子径、ゼータ電位、分子量の測定法を基準に、新素材、バイオサイエンス、高分子化学、さらには半導体や医薬分野などへの展開を図ります。 【分光計測機器】 分光計測技術の代名詞であるマルチチャンネル分光器と、長年にわたって培ってきた解析技術の蓄積による製品群を生み出しています。多様化するニーズに応えながら、幅広い分野へと拡大し続けています。
