事前に均一性をチェックして不良発生によるロスを削減した事例をご紹介！
「プレスケール」を使用し、半導体製造におけるバックグラインド テープ貼り合わせ圧の均一性確認を行った事例をご紹介します。 貼り付けローラーの圧力分布が不均一であると、バックグラインド テープにシワが入ります。また、ウェハと外周の受け台の高さが 適切でない場合、ウェハの割れやバックグラインドテープの 貼り付け不良が発生します。 プレスケールを使用すれば、ウェハにかかるローラー貼り付け圧を 実際の使用条件で確認することが可能。圧力の均一性を定期的に 確認することによって調整時間を短縮して材料ロスも削減します。 【事例概要】 ■測定対象：バックグラインドテープ貼り付けローラー ■用途：バックグラインドテープ貼り合わせ圧の均一性確認 ■成果：調整時間短縮、品質向上、ロス減 ■課題：試行錯誤的に調整するしか方法がなかった ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【導入効果】 ■時間ロス効果：装置の調整作業を大幅に効率化 ■品質ロス効果：事前に均一性をチェックして不良発生によるロスを削減、ウェハの割れを無くす ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社の計測フィルムソリューション事業部では、高温用プレスケール、 UVスケールなど様々な製品を取り揃えております。 目に見えなかった圧力と圧力分布を簡単に確認することができるフィルム 「プレスケール」や、熱分布を色の変化で簡単に判定できる画期的な熱分布 可視化フィルム「サーモスケール」をラインアップ。 また、富士フイルム製品の生産過程から生まれた、製造、検査・点検の 高精度化、効率化、安定化などをもたらす多彩で優れた検査・測定製品を 提供しています。
