アウトガスや微細な漏れを防ぐ。真空環境特有の課題を材料選定と一体成形技術で解決し、装置の清浄性と品質安定を実現する方法を解説。
成膜やエッチング工程の真空チャンバーやポンプ部品で、到達圧力の遅れやアウトガスに悩まされていませんか？真空環境では、大気中とは異なる独自の設計が必要です。 ■真空部品で押さえるべき3つの課題 アウトガス：材料内部や表面からのガス放出がプロセスを汚染。 バーチャルリーク：溶接やネジ部の隙間に溜まったガスが徐々に漏れ出し、真空度を低下させる。 洗浄性：微細な表面粗さや鋳巣（空孔）が汚染物質の溜まり場に。 ■ヒノデの鋳物ソリューション 実績：AC7A等のアルミ鋳物で真空チャンバーへの採用実績がございます。 材質最適化：表面処理の仕様等に応じて、最適な材質をご提案いたします。 構造最適化：複数部品を一体化することで溶接を排除し、ガス溜まりのリスクを物理的に解消します。また、剛性解析にて肉厚・形状を最適化し軽量化・コスト低減をご提案いたします。 製造プロセス：低圧鋳造プロセスにて、ガス起因の微細な鋳巣を最小化し、真空到達度・到達速度を確保。 一貫製造：鋳造から精密加工、流通までをワンストップ対応。 調達時は「材質の緻密さ」と「接合部の有無」をまず確認しましょう。
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基本情報
ヒノデグループは、『材料・構造の最適化による性能向上』と『多様な材質・プロセスの一貫生産体制』により、お客様のものづくり課題を、開発段階から量産までワンストップで解決いたします。 【このようなお困りごとを解決します】 ●装置の「振動低減」「熱変化低減」「高剛性化」「軽量化」をお考えの方 ・独自材料と構造解析/トポロジー最適化で鋳物メーカーならではの解決策をご提案。 ・開発期間を短縮する3Dプリンタや試作検査体制も充実。 ●鋳物部品の発注手間やリードタイムでお困りの方 ・鋳鉄・鋳鋼・アルミ・特殊材など、多様な材質・製造プロセス・ロットにご対応。 ・型製作、試作から鋳造・加工・組立・輸配送までワンストップでご対応。 ●鋳物の安定供給をお考えの方 ・創業100年のマンホール鉄蓋トップシェアメーカーの実績。 ・工作機械、産業用ロボット、自動車、半導体製造装置などの産業機械分野で 350社以上のお客様との実績あり。 ・多品種小ロットから数千個単位の大ロットまで幅広く対応可能なグループ体制。 ・国内外400社以上の協力企業体制でどんな材質・サイズにもご対応。
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用途／実績例
半導体製造装置・電子部品製造装置（架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等） 工作機械（鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム） 産業用ロボット（ベース、ケーシング、アーム） 輸送用機器・建設機械（エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品） 造船・舶用機器（シーブ、ケーシング）
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企業情報
ヒノデホールディングスは、鋳鉄・鋳鋼・アルミ鋳物・加工・物流の専門家が集結した鋳造プロフェッショナル集団です。 「装置部品の軽量化・振動抑制」「精密加工」「サプライヤー管理・発注業務の煩雑さ」など、設計・開発から生産・調達における課題を、グループの総合力で解決します。 装置の開発段階からから量産機のVA/VEまで、ヒノデにお任せください。 ■ 対象業種 半導体製造装置・電子部品製造装置（架台・フレーム・ベース、チャンバー、真空ポンプ、低熱膨張鋳鉄の精密部品等） 工作機械（鋳鉄・ミネラルキャスティング製のベッド、コラム、ビーム） 産業用ロボット（ベース、ケーシング、アーム） 輸送用機器・建設機械（エンジン・駆動系、油圧部品、足回り部品） 造船・舶用機器（シーブ、ケーシング） ■ 対象工程・部品 工程： 材質開発・選定、構造設計、試作、量産、加工、組立、品質管理、グローバル調達・国内外輸配送 材質： 鋳鉄（FC/FCD）、アルミ鋳物、鋳鋼、ステンレス鋳鋼 、低熱膨張材、耐熱鋳鋼、耐摩耗材、ミネラルキャスティング、他
