オリフラ合わせはスイッチにて切替可能！中央部で偶数列のウェハを反転させるウェハ移載装置
当社が取り扱う、『ウェハ移載装置』をご紹介します。 左右2台のキャリアハンドラーにより、1～6個のキャリアを高速搬送。 オリフラ合わせは、上合せ、下合せがスイッチにて切替可能です。 中央部で偶数列のウェハを反転させることができ、奇数列反転は オプションとなっております。 【主な仕様】 ■対象ウェハ：4 OR 5 OR 6インチの専用機 ■移載キャリア数：1～6個任意 ■オリフラ合わせ：スイッチにて切替可能（上合せ、下合せ） ■移載時間：6個で9分以内 ■装置寸法：1600mmX725mmX1450mm（4インチ仕様） ■装置重量：150Kg ■電源：AC100V、15A ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
EXTENSIVE VISION ON SYSTEM （幅広い視野に立ったシステム構築） を目的として、独自性の高い製品を作るという意味から名づけられました。 現在の技術革新には目覚ましいものがあり、時代の要求は常に高度なものになっております。熟成化された今の装置産業に革命を起こすべく、常に他社との差別化をなした装置の提案を行い、産業界に貢献する会社であることが我々の使命だと考えております。
