金属イオン溶出ゼロ。半導体薬液ラインの汚染リスクを低減する高洗浄性コネクタ
半導体製造の薬液供給プロセスでは、ウェハ洗浄液や基板コート剤などに対し、極めて高い清浄度が求められます。微細な金属イオンの溶出やコンタミは、製品の歩留まりに直結する重大な課題です。そのため、接液部における汚染リスクを徹底的に排除した配管接続環境が不可欠です。当社のALL-PTFEコネクタは、接液部をすべてPTFEで構成し、内弁開閉時の摺動部を接液部から完全に遮断することで、高純度な薬液供給をサポートします。 【活用シーン】 ・半導体製造におけるウェハ洗浄液の供給ライン ・基板コート剤などの高純度薬品ライン ・配管の自動着脱が必要な薬液供給設備 【導入の効果】 ・金属イオン溶出ゼロによる薬液の純度維持 ・内部構造のシンプル化による流体滞留の防止 ・自動着脱化による作業の効率化と省人化
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基本情報
【特長】 ・接液部オールPTFE構造により金属イオン溶出を抑制 ・内弁一体成形により開閉時の摺動部を接液部から遮断 ・流体滞留部を排除した高洗浄性設計 ・シール部品への流体回り込みを防ぐ独自の固定方法 ・小型・軽量化を追求した設計 【当社の強み】 ナブテスコサービスは、自動車や産業機械で培った技術を基盤に、オートコネクタや配管自動切換装置の設計・製造を専門としています。全品オーダーメイド対応により、お客様の設備仕様に合わせた最適なソリューションを迅速に提供します。
価格帯
納期
用途／実績例
■仕様 駆動方法常時閉型空気圧駆動式 接液部材質PTFE ※O リング材質は任意選定可能 適用流体各種プロセス流体／不活性ガス 適用流体温度0～100℃（ただし凍結なき事） 最高洗浄温度143℃（蒸気／熱水0.5MPa 以下） 使用圧力常用0.6MPa（本体耐圧1.0MPa） 最小通路断面積接続配管断面積以上 内弁の開閉耐久性20,000 回（社内耐久試験10 万回クリア） （清水～150℃蒸気、0.2～0.5MPa での連続作動耐久回数） 操作空気圧力0.4MPa
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企業情報
当社は、商用車用エアブレーキ部品の販売サービスを目的に、1971年2月、日本エヤーブレーキ株式会社（現ナブテスコ株式会社）の100%子会社として誕生しました。 現在では、自動車、鉄道、船舶から、建設機械、産業機械、さらには環境設備関連まで幅広い分野において、空圧機器をはじめ油圧機器、電子機器など多岐にわたる製品の設計、製造、販売、保守、修理を展開しています。 ナブテスコサービスの業務の核は、自動車や鉄道車両のブレーキはもちろん、建設機械のコントロールバルブ、工場の生産ラインに使われるオートコネクタ、オートカプラー、カプラーなど、産業社会の安全や運行を支えるキーパーツの設計・開発、製造、保守、メンテナンス、高品質のサービスを迅速かつ確実に提供することにあります。 これまで培ってきた技術とノウハウを基盤に、最短納期で商品を提供するシステムと全国に広がるサービスネットワークを構築し、品質の高いサービスを迅速かつ確実にお届けできる体制を目指してまいります。
