抵抗率／シート抵抗測定器【WS-3000】
ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。 抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。 その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。
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基本情報
【半導体プロセス評価用に最適な自動薄膜シート抵抗測定器】 ◆４種類のプローブヘッドを装着可能なロータリー機能のため、測定サンプル毎のプローブ交換作業が不要 ◆デュアルモードにより、エッジ１mmまで高精度に測定 ◆高速測定による優れたコストメリット ◆薄膜３nmの測定実績 ◆FOUP標準装備（オプション：SMIF/AM3000）、GEM/SECS対応 （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
半導体プロセス膜（エピタキシャル、拡散、イオン注入、ポリシリコン）、メタル膜、シリコンウエハ
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抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。
