ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム!
ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。 抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。 その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆抵抗・厚さ・PN判定を全て非接触測定 ◆標準カセット数:ローダーカセット×4、アンローダーカセット×6 (カセット数は変更対応可能です) ◆ガラスマップ(サーチ)機能 ◆CIM通信、2-D/3-Dマッピングウェア ●対象ウエハサイズ:3インチ〜8インチ(3サイズまで)、または8インチ、12インチ (※)その他詳細についてはお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途/実績例
シリコンウエハ
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抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。