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PN-1S

最終更新日:2007年08月17日

ナプソン株式会社
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PN判定器 【PN-1S】

ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。 抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。 その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。

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PN判定器 【PN-1S】

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基本情報

【スピーディーな測定が可能な接触型PN判定器】 ◆判定方式:整流電力方式 ◆ほとんどの試料(シリコンウエハ、バルク、インゴット)に対応 (表面が酸化している試料は判定不可能) ◆測定ステージに載せ、0.2mmの細い2本の探針部に軽く接触させるだけで、瞬時に測定が可能 ◆自動ウエハ搬送装置に組込使用が可能(PN-1S/B) ●対象ウエハサイズ:2インチ〜12インチまで対応 (※)その他詳細についてはお問い合わせ下さい。

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用途/実績例

シリコンウエハ[ラップ、エッチド、ポリシド、ミラー]、バルク、インゴット (表面が酸化している試料は判定不能)

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