抵抗率／シート抵抗測定器【CRESBOX】
ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。 抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。 その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。
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基本情報
【コストパフォーマンスに優れた、多点測定４探針抵抗測定器】 ●測定時に外部環境の影響を受けにくいインターロック付きマニュアルステージシャッターを搭載（オプション：オートステージシャッター） ●ユーザーフレンドリー性の高いパソコン+専用ソフトウェアでの操作システム ●測定パターンプログラマブルのため、円型・角型測定可能 ●セルフテスト機能、シリコンウエハ測定用厚さ・周辺位置・温度補正機能 ●シート抵抗・メタル膜厚表示可能 ●円型：最大1,225点、角型：最大1,000点の2-Ｄ/3-Ｄマッピングソフトウェア（オプション） ●対象ウエハサイズ： 2インチ〜8インチ、〜156mm角 （※）その他詳細についてはお問い合わせ下さい。
価格情報
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価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
シリコンウエハ、半導体プロセス膜（エピ、イオン注入、拡散など）、メタル膜、ITO膜、導電性セラミックなど
カタログ（1）
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抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。