遠隔インターネット管理を実現、真空ガス分析管理装置
装置の真空の質（正常／異常）を判別するＲＧＡ装置です。 これまで、シリアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離を越えて制御が行えます。 使い易さの向上のみならず、プロセスモニタリングやe-Diagnostics（診断）に新しい可能性を切り開きます。 【仕様】 ◇マスレンジ： 1-100 / 1-200amu ◇分解能 ： ≦10％valley（マスレンジ内の同じ高さのピーク間） 【特長】 ○低価格＆コンパクト１．９ｋｇ（コントローラ重量） ○簡単なインストールと、最少の保守メンテナンスでご利用できます。 ○10Base-T のEthernetインターフェイスと組込型ウェブサーバーを内蔵し、 ネット環境を利用したダイレクト操作を実現 ※詳細は資料請求からお問い合わせください。
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基本情報
装置の真空の質（正常／異常）を判別するＲＧＡ装置です。 これまで、シリアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離を越えて制御が行えます。 使い易さの向上のみならず、プロセスモニタリングやe-Diagnostics（診断）に新しい可能性を切り開きます。 【仕様】 ◇マスレンジ： 1-100 / 1-200amu ◇分解能 ： ≦10％valley（マスレンジ内の同じ高さのピーク間） 【特長】 ○低価格＆コンパクト１．９ｋｇ（コントローラ重量） ○簡単なインストールと、最少の保守メンテナンスでご利用できます。 ○10Base-T のEthernetインターフェイスと組込型ウェブサーバーを内蔵し、 ネット環境を利用したダイレクト操作を実現 ※詳細は資料請求からお問い合わせください。
価格情報
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納期
用途／実績例
○海外工場の管理や、出張不在中の本社工場の管理制御 ○液晶、PV業界や、半導体の前処理工程の真空ガス管理 ○研究所の真空チャンバー操作管理 ○勤務時間外トラブル対応 など
企業情報
弊社は、半導体デバイス、FPD、OLED、太陽電池、データストレージ、コーティングなどの薄膜アプリケーション、または医療機器、エネルギー、環境モニター、バイオ医薬などの産業アプリケーションなど、成長産業における製造プロセスの最新技術を提供するグローバルリーディングカンパニーです。 世界各地のサービスセンタよりワールドワイドなサポートを行っています。
