スパッタ装置
長州産業独自の技術を搭載する対向ターゲット方式「ミラートロンスパッタ装置」を提供しています。 低プラズマダメージ、低基板温度を実現しながら、ご希望の機能性膜が得られます。 有機EL分野では、トップエミッション構造における透明導電膜の形成、封止膜の形成に最適です。 有機太陽電池や有機半導体などの有機デバイス、電子部品、樹脂フィルム等の様々な分野において、 最適なプロセスを提供しています。 その他、平行平板方式、円筒方式のスパッタ装置も提供しています。
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基本情報
長州産業独自の技術を搭載する対向ターゲット方式「ミラートロンスパッタ装置」を提供しています。 低プラズマダメージ、低基板温度を実現しながら、ご希望の機能性膜が得られます。 有機EL分野では、トップエミッション構造における透明導電膜の形成、封止膜の形成に最適です。 有機太陽電池や有機半導体などの有機デバイス、電子部品、樹脂フィルム等の様々な分野において、 最適なプロセスを提供しています。 その他、平行平板方式、円筒方式のスパッタ装置も提供しています。
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詳細情報
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低ダメージのスパッタ成膜が可能なため、トップエミッションデバイスの透明電極膜成膜用途に多く採用されています。
企業情報
長州産業は、先進のエネルギー機器や有機ELデバイス製造装置など、幅広い分野で高度な技術を持つ製造メーカーです。 再生可能エネルギーを中心としたエネルギー機器分野では業界トップクラスのシェアを持ち、水素エネルギーなど先進技術にも取り組んでいます。 また製造装置分野における技術は業界でも高く評価され、活動の領域は国内のみならず海外へも広がっています。