RFラジカルビーム源 IRFS-503
放電部、引き出し部は高純度PBNで製作され 活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え かつクリーンな原子・ラジカルビームを得ることが可能な、ラジカルビーム源 【特徴】 ○ICPタイプのRF放電により化学的に活性なラジカルを形成し 差圧によりフラックスを引き出す ○放電が目視確認できるビューポートを標準装置 発光モニターや分光器を使用して、放電状態・励起状態を確認できる ○完全金属シール、200℃ベーカブル対応によりMBE装置等 各種超高真空装置に使用可能 ○分子線セルポート取付を前提に設計されているため 従来型のMBE装置に増設可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
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基本情報
放電部、引き出し部は高純度PBNで製作され 活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え かつクリーンな原子・ラジカルビームを得ることが可能な、ラジカルビーム源 【特徴】 ○ICPタイプのRF放電により化学的に活性なラジカルを形成し 差圧によりフラックスを引き出す ○放電が目視確認できるビューポートを標準装置 発光モニターや分光器を使用して、放電状態・励起状態を確認できる ○完全金属シール、200℃ベーカブル対応によりMBE装置等 各種超高真空装置に使用可能 ○分子線セルポート取付を前提に設計されているため 従来型のMBE装置に増設可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
価格情報
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納期
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企業情報
1972年、初代社長堀田が自宅の玄関先を作業場に 大誠産業株式会社を設立して以来、技術開発、 研究開発の仕事に打ち込んでまいりました。 当初は、気象研究所のポラックカウンタなどの開発に携わり、 空気を科学する仕事から始まりました。 その後、リークデテクタのメンテナンスサービスを 始めるなどして、次第に真空の世界に仕事を広げて行きました。 創立10年頃から超高真空の仕事が増え始め、 創立15年頃には小型の装置を製造できるようになりました。 現在、仕事の守備範囲は格段に増え、超高真空、 MBE、CVD、ECR、RFラジカル源など単に真空装置に止まらず、 各種のプラズマ、イオンあるいは電子を利用した 機能部品の開発を進めております。 今後、真に先端技術の世界で通用する 小企業を目標にしたいと考えております。