［XPS］X線光電子分光法

基本情報

XPSは、X線照射により放出される光電子の運動エネルギー分布を測定します。光電子の発生原理は以下の通りです。照射X線のエネルギーと光電子の運動エネルギーから束縛エネルギーを算出することができます（（1）式）。ここでhνは既知なので、Ekを測定することによりEbを求めることができます。Ebは元素およびその電子状態等に固有な値であるため、この値から試料中の元素の同定およびその化学結合状態に関する知見を得ることができます。

価格情報

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納期

用途／実績例

・プラズマエッチング表面の化学状態・生成物（デポ）の評価 ・ウエハ表面の洗浄効果（クリーニング）の確認 ・Si酸化膜（SiON膜等）の酸化度および膜厚の評価 ・金属膜（Cu等）の表面改質層の化学状態の確認 ・二次電池材料の電極表面における組成・化学状態の調査 ・SUS表面不動態層の評価 ・太陽電池材料の組成・化学状態の調査 ・有機EL膜の発光特性と化学状態の評価 ・リソグラフィ用マスクのクリーニング効果の確認 ・磁気ディスク表面の潤滑剤の状態評価 ・撥水性ガラス表面塗布膜の撥水性能劣化の原因調査 ・反射防止膜の成分と光学特性の相関評価 ・光触媒膜の組成・化学状態の評価等

詳細情報

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