サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄。
◆薬液対応ファインジェット＆EDジェットにより高い洗浄能力を実現 ◆非接触洗浄(プラシレス洗浄)によりメンテナンスフリーとダメージレスを実現 ◆１ステージで各洗浄・乾燥工程を可能に ◆完全常温プロセスのためヒーターを必要とせず、消費電力を大幅にカット ◆機能別のユニット構成により設置面積のコンパクト化と自由度の高いレイアウトを実現
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基本情報
ウェハー横置き、枚葉式ファインジェット方式の採用で高い洗浄能力を実現。 スピンソニッククリーナーは、サブミクロンのパーティクルまでも取り除きます。さらに工程数をカットし、薬液管理およびヒーターが不要に。洗浄時間の短縮、ランニングコストの節約などを可能とするすぐれたパフォーマンスを発揮します。
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
エピ前後の洗浄 CMP後の洗浄 ポリッシング後の洗浄 アニール前の洗浄 CVD、窒化膜、酸化膜等の成膜前後の洗浄
企業情報
私たちプレテックは、1982年の設立以来、一貫して超精密洗浄の各分野でスーパークリーニングシステムを創造して参りました。とくにメガソニック洗浄のファインシリーズやカセットレス洗浄は、早期に開発を手がけ国内外問わず高い評価をいただいております。 またプレテックは産学共同研究を基に新技術の開発を推進。東北大学との省エネ・ハイクオリティな枚葉式洗浄機の開発をはじめ山形大学、東京工業大学、中央大学とも共同開発をしております。 今後も、顧客第一優先の徹底、品質保証体制の確立とその維持、最先端技術の開発とその応用という３つの方針を実現するとともに、お客様の信頼と満足を得られるような魅力ある商品を創造・提供し、また、環境及び安全衛生の向上を目指して社会に貢献し続けたいと考えます。 そして、真のベンチャー企業として成長発展するために精密洗浄における最先端技術の更なる研究開発を続け、日本発の技術として世界に向けて発信し、技術立国日本を確固たる姿にするため社員一同いっそうの努力をして参ります。