低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応!
ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインジェット』は、微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。多彩な周波数を選択可能(400/1500/3000kHz)で、多彩なノズルバリエーション(耐薬品/メタルコンタミネーションフリー)があります。検出機能を強化し、振動子劣化を検出可能です。また、通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が可能になります。海外の電圧に標準で対応し、各種規格(FCC/CE/RoHS)にも対応しております。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○ノズル先端より高周波をのせた液体(超純水、薬液)を噴射し洗浄 →用途に合わせてオゾン水、フッ酸等の薬液の使用が可能 ○高圧水JETと異なり、供給される液体は一般の水道圧(1〜1.5Kg/cm2)でOK ○枚葉送り、スピン洗浄機に簡単に取り付け可能 ○低出力から高出力までの安定した発振 ○枚葉洗浄の幅広いニーズに対応 ○微細な出力調整:1W刻みの安定した出力調整が可能 ○多彩な周波数を選択可能:400/1500/3000kHz ○多彩なノズルバリエーション:耐薬品/メタルコンタミネーションフリー ○検出機能強化:振動子劣化を検出可能(PT-010J50) ○通信機能も強化:発振器状態の監視、外部設定が可能(PT-010J50) ○海外の電圧に標準で対応(PT-010J50) ○各種規格対応:FCC/CE/RoHS ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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納期
用途/実績例
【用途】 ○シリコンウェハー、GaAs、各種フォトマスク、液晶ガラス、磁気ディスク、 薄膜磁気ヘッド等の洗浄、 ウエハーのCMP後の洗浄 ○脆性材料(フェラント、セラミック等)シリコンウェハー等のスライシング、 べべリング、切削加工等の加工時の目つまり除去と加工促進 ○液晶除去 ○各種ウエハー基板洗浄(シリコン、ポリシリコン、化合物半導体、石英ガラス) ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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私たちプレテックは、1982年の設立以来、一貫して超精密洗浄の各分野でスーパークリーニングシステムを創造して参りました。とくにメガソニック洗浄のファインシリーズやカセットレス洗浄は、早期に開発を手がけ国内外問わず高い評価をいただいております。 またプレテックは産学共同研究を基に新技術の開発を推進。東北大学との省エネ・ハイクオリティな枚葉式洗浄機の開発をはじめ山形大学、東京工業大学、中央大学とも共同開発をしております。 今後も、顧客第一優先の徹底、品質保証体制の確立とその維持、最先端技術の開発とその応用という3つの方針を実現するとともに、お客様の信頼と満足を得られるような魅力ある商品を創造・提供し、また、環境及び安全衛生の向上を目指して社会に貢献し続けたいと考えます。 そして、真のベンチャー企業として成長発展するために精密洗浄における最先端技術の更なる研究開発を続け、日本発の技術として世界に向けて発信し、技術立国日本を確固たる姿にするため社員一同いっそうの努力をして参ります。