ファインソニックを使用しダメージを与えずにパーティクルの除去が可能
＜特長＞ ・カセット接触部の洗浄ムラも解消。 ・少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに。 ・消費電力を大幅にカット。 ・ 槽間移動時の薬液量を少量化。 ・ファインソニック（高周波発振器／振動子）を使用。ダメージを与えることなくパーティクルの除去が可能。
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基本情報
ロボット搬送がスムーズでチッピングが生じない、大幅なランニングコストの低減が可能。 しかもファインソニック使用で、さらに品質向上。 数々のスーパークリーンテクノロジーを採用したカセットレス洗浄装置は、洗浄におけるカセットの問題点をすべて解決する半導体洗浄の決定版です。
価格情報
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納期
用途／実績例
半導体、ウェハー洗浄用。
企業情報
私たちプレテックは、1982年の設立以来、一貫して超精密洗浄の各分野でスーパークリーニングシステムを創造して参りました。とくにメガソニック洗浄のファインシリーズやカセットレス洗浄は、早期に開発を手がけ国内外問わず高い評価をいただいております。 またプレテックは産学共同研究を基に新技術の開発を推進。東北大学との省エネ・ハイクオリティな枚葉式洗浄機の開発をはじめ山形大学、東京工業大学、中央大学とも共同開発をしております。 今後も、顧客第一優先の徹底、品質保証体制の確立とその維持、最先端技術の開発とその応用という３つの方針を実現するとともに、お客様の信頼と満足を得られるような魅力ある商品を創造・提供し、また、環境及び安全衛生の向上を目指して社会に貢献し続けたいと考えます。 そして、真のベンチャー企業として成長発展するために精密洗浄における最先端技術の更なる研究開発を続け、日本発の技術として世界に向けて発信し、技術立国日本を確固たる姿にするため社員一同いっそうの努力をして参ります。