小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツールです。
ファインシリーズ洗浄ユニット 『ファインスコール』は、大型液晶ガラス洗浄に最適なバー型高スループットタイプです。洗浄エリアは2210mmまでセレクト可能で、液晶ガラス等の枚葉式洗浄に最適です。バー型、ノズル噴射の洗浄方式で、洗浄液は空中でのノズル噴射式のため、洗浄槽液内での再汚染がありません。微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能です。通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が可能になります。各種規格（FCC/CE/RoHS）にも対応しております。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【特徴】 ○小型基板から大型液晶板までの枚葉及び平送り洗浄ツール ○大型液晶ガラス洗浄に最適なバー型高スループットタイプ ○洗浄幅は160ｍｍから2210mmまでセレクト可能 ○液晶ガラス等の枚葉式洗浄に最適 ○バー型、ノズル噴射の洗浄方式 ○洗浄液は空中でのノズル噴射式のため、洗浄槽液内での再汚染がない ○きめ細かなサイズバリエーション ○微細な出力調整ができ1W刻みの安定した出力調整が可能 ○最大出力アップ：洗浄エリアの拡大及びコストダウン ○通信機能も強化され、発振器状態の監視、外部設定が可能 ○各種規格（FCC/CE/RoHS）にも対応 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報
お問い合わせ下さい。
納期
※お問い合わせ下さい。
用途／実績例
【用途】 ○液晶、TFT（成膜前後）、CF、アレイ等 ○半導体デバイスに於ける拡散前、イオン注入後の洗浄 ○SIウェハー、GaAs等のミラー後の洗浄 ○各種フォトマスクの成膜前レチクル洗浄 ○磁気ディスクの成膜前およびファイナル洗浄 ○FPD用基板洗浄 ○各種ウエハー洗浄 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
私たちプレテックは、1982年の設立以来、一貫して超精密洗浄の各分野でスーパークリーニングシステムを創造して参りました。とくにメガソニック洗浄のファインシリーズやカセットレス洗浄は、早期に開発を手がけ国内外問わず高い評価をいただいております。 またプレテックは産学共同研究を基に新技術の開発を推進。東北大学との省エネ・ハイクオリティな枚葉式洗浄機の開発をはじめ山形大学、東京工業大学、中央大学とも共同開発をしております。 今後も、顧客第一優先の徹底、品質保証体制の確立とその維持、最先端技術の開発とその応用という３つの方針を実現するとともに、お客様の信頼と満足を得られるような魅力ある商品を創造・提供し、また、環境及び安全衛生の向上を目指して社会に貢献し続けたいと考えます。 そして、真のベンチャー企業として成長発展するために精密洗浄における最先端技術の更なる研究開発を続け、日本発の技術として世界に向けて発信し、技術立国日本を確固たる姿にするため社員一同いっそうの努力をして参ります。