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中低真空用LMガイド

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HSR15M1R-VV

最終更新日:2010年07月16日

THK株式会社
THK株式会社
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大気圧〜真空の環境下で安定した転がり抵抗を実現

新開発の中低真空専用ラビリンスエンドシールや中低真空用グリースの採用により、安定した転がり抵抗を実現しています。

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中低真空用LMガイド

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基本情報

● 大気圧〜真空の幅広い環境で使用可能。 ● ベーキング温度、最高200℃※まで対応可能。 ● 新開発の中低真空専用ラビリンスエンドシールは、グリース保持性を向上させ、長期真空中の使用が可能。 ● 新開発の中低真空用グリースの採用により、安定した転がり抵抗を実現。 ※ベーキング温度が100℃を超える場合は、基本定格荷重に温度係数を乗じてください。

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用途/実績例

各種半導体製造装置・検査装置

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THKは、1972年に世界に先駆けて機械の直線運動部の「ころがり化」を 実現し、「直動システム」を開発しました。この「直動システム」の 開発は、機械の高精度化、高速化、省力化、さらには効率の向上を 生み出し、省エネを考慮した装置設計を可能にしました。 THKの技術のすべては、あらゆるメカニズムの“動き”に さらなる軽やかさと精確さを与えるために注がれ、 さまざまな革新を世界中にもたらしています。 【THKの主要製品領域】 1.機械要素部品分野: ・LMガイド、ボールスプライン、ボールねじ、電動アクチュエータ等の  開発・製造・販売 2.メカトロ関連製品分野: ・精密XYステージ、リニアモータアクチュエータ等 3.自動車部品分野: ・リンクボール、ロットエンド等 4.ロボット分野: ・ピック&プレースロボット「PPR」、搬送ロボット「SIGNAS」、  サービスロボット「SEED- Solutions 」(ディスプレイロボット、  検温ロボット含む)等 5.免震分野: ・免震テーブルTSD、免震モジュールTGS

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