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精密ステージシリーズ EX

最終更新日:2022年04月04日

THK株式会社
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優れた応答性を実現、 低イナーシャ構造を採用

THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ EX(XYステージ)は、従来型のようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。操作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑えることで、 優れた高速応答性を実現しました。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、2DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。

    アクチュエーターその他機械要素半導体検査/試験装置
EX_20091103.jpg

電動アクチュエータ EX (精密ステージ) [THK公式]

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基本情報

●シンプルなXY構造 案内部にクロスLMガイドCSRを使用し、従来型XYステージのようにサドルを使用しない構造のシンプルなXYステージです。 ●すぐれた応答性 クロスLMガイドCSRを使用した構造により、中間サドルが削除され、さらに2軸のモータとも固定する特殊な構造を採用しました。これにより、動作部を極限まで軽量化し、各軸の慣性力を抑え、すぐれた高速応答性を実現しました。 ●高剛性XYステージ XY案内部に4方向等荷重のクロスLMガイドCSRを使用することにより、ラジアル剛性はクロスローラーガイドを使用したステージに比べ高剛性です。 ●ガタのない連結機構 X軸の駆動部は、直動案内のLMガイドと駆動用ボールねじを一体化し、省スペース、高剛性、高精度なKRを採用しています。トップテーブルとの連結はLMガイドHSRで適正予圧を与えていますのでガタのない構造です。

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THKは、1972年に世界に先駆けて機械の直線運動部の「ころがり化」を 実現し、「直動システム」を開発しました。この「直動システム」の 開発は、機械の高精度化、高速化、省力化、さらには効率の向上を 生み出し、省エネを考慮した装置設計を可能にしました。 THKの技術のすべては、あらゆるメカニズムの“動き”に さらなる軽やかさと精確さを与えるために注がれ、 さまざまな革新を世界中にもたらしています。 【THKの主要製品領域】 1.機械要素部品分野: ・LMガイド、ボールスプライン、ボールねじ、電動アクチュエータ等の  開発・製造・販売 2.メカトロ関連製品分野: ・精密XYステージ、リニアモータアクチュエータ等 3.自動車部品分野: ・リンクボール、ロットエンド等 4.ロボット分野: ・ピック&プレースロボット「PPR」、搬送ロボット「SIGNAS」、  サービスロボット「SEED- Solutions 」(ディスプレイロボット、  検温ロボット含む)等 5.免震分野: ・免震テーブルTSD、免震モジュールTGS

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