大型ワークをナノオーダー・超深度でダイレクトに観察可能 顕微鏡ヘッド移動領域800mm×800mm×300mm キーエンス社製超
移動領域が800mm×800mm×300mmと、超ロングストロークでありながら外形寸法は小さくおさえてあります。Ｘ-Ｙ軸は繰り返し位置決め精度±0.01mm、ステッピングモータ駆動、コントロールパネルによるダイレクト操作です。Ｚ軸に関してはあえて手動方式を採用してます。移動距離はハンドル部のインジケータで表示されるため数値的に移動量をコントロールできます。オプションでは高精度恒温チャンバを搭載することにより、温度変化による熱変形の状態を拡大観察・形状観測することができます。
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基本情報
超深度形状測定顕微鏡を搭載し、大型ワーク用にステージシステム化。大型ワークをナノオーダー・超深度でダイレクトに観察可能。
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
超深度形状測定顕微鏡で大型ワークを高精度で観察できるため、多業種にわたりお使い頂けます。現在お持ちの顕微鏡をステージ化することも可能です。
企業情報
日立の技術をベースに機械技術・自動制御技術を駆使した各種ＦＡ設備・メカトロ装置をはじめ、生産設備および実験・試験装置、各種生産設備の合理化・改造等、広範囲なお客様のニーズにお応え致します。