真空機器の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

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安全柵　『SATECH』【低コスト＆スピード施工！】

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SATECH株式会社

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

その他安全・衛生用品

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*ターボ分子ポンプ排気システムHiCubeシリーズ

ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動

真空ポンプ

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*スクリュー型ドライポンプHeptaDryシリーズ

業界トップクラスの基本性能

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*ドライポンプACG600G

業界トップクラスの基本性能

真空ポンプ

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*ロータリーポンプHenaシリーズ／1 段式ステージ

業界トップクラスの基本性能

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*真空計（アクティブライン）

•豊富なバリエーション → 用途にあわせて最適な機種を選択可能 •日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

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*真空計（デジライン）

•豊富なバリエーション → 用途にあわせて最適な機種を選択可能 •日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

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*真空計（モジュールライン）

•豊富なバリエーション → 用途にあわせて最適な機種を選択可能 •日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

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*真空計（IMGシリーズ）

•豊富なバリエーション → 用途にあわせて最適な機種を選択可能 •日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

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*高真空ダイカストシステム「VACU2シリーズ」

マルチステージ真空プロセスにより、ダイカスト(アルミニウム/マグネシウム)を強力サポート致します

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*ハンディピラニゲージ

•豊富なバリエーション → 用途にあわせて最適な機種を選択可能 •日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

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*スクロールポンプHiScrollシリーズ

業界トップクラスの基本性能

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*質量分析計

•業界トップレベルの基本性能 •ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

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*ドライポンプMVPシリーズ

業界トップクラスの基本性能

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*ドライポンプACPシリーズ

業界トップクラスの基本性能

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*ルーツポンプOktaシリーズ

業界トップクラスの基本性能

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*ターボ分子ポンプHiPaceシリーズ

圧縮比、到達真空度、ガス流量など、業界トップクラスの基本性能

真空ポンプ

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*ドライポンプAシリーズ

業界トップクラスの基本性能

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*ルーツポンプHiLobeシリーズ

業界トップクラスの基本性能

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ディスプレイ製造装置向けのリフトピン

株式会社ウェイド韓国全地域

各種各様の素材・規格に対応可能でございます。

その他機械要素
エンジニアリングプラスチック
真空機器

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ディスプレイ製造装置向けパーツ

株式会社ウェイド韓国全地域

各種各様の素材・規格に対応可能でございます。

真空機器
シール・密封
レーザ部品

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磁気軸受形複合分子ポンプ　TG1300M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

その他ポンプ
真空機器
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磁気軸受形複合分子ポンプ　TG420M

広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

その他ポンプ
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磁気軸受形複合分子ポンプ　TG900M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

その他ポンプ
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反応生成物対応　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MIシリーズ

独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を大幅に減少！

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極低振動　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MLシリーズ

ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着すると更に1桁低減(0.1nm)！

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磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

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磁気軸受形複合分子ポンプ　TG390M

広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

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超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU

超高真空仕様ターボ分子ポンプ

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磁気軸受形複合分子ポンプ　TG2400M

大流量排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ

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耐放射線仕様　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MRシリーズ