半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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室温から-13°Cの強冷風!ご使用環境によりコンボタイプかセパレートタイプを選択可能!

  • 冷却装置

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2024/4/10(水)~2024/4/12(金)名古屋 ものづくり ワールド 2024出展のご案内

三和式ベンチレーター株式会社は、ポートメッセなごやで開催される 2024ものつくりワールド(名古屋)に出店いたします。 弊社も大型冷風機、涼暖ビエントの展示をおこないます。 日時:2024/4/10~2024/4/12    開場:AM10:00~ 場所:名古屋ポートメッセ(第1展示会場) ※弊社ブース:19-1 お時間が御座いましたら、ご来場頂ければ幸いです。

プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択できます!

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  • スクリーンショット 2021-06-23 111200.png
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  • 蒸着装置

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基板加熱温度最高1000℃!基板表面加熱プロセス特有の元素抜けを軽減!

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  • 加熱装置
  • アニール炉

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エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れたコンパクトな装置です!

  • エッチング装置
  • アッシング装置

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【デモ機貸し出し可能!】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン乾燥に最適!

  • その他クリーンルーム用機器・設備
  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式洗浄装置です

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗浄装置です

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾燥までを処理する装置です

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】上部にクリーンフィルターを設け、チャンバー内のクリーン化を計っています

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】バッチタイプ、スクラブ洗浄等多彩なオプションにて対応いたします

  • その他半導体製造装置

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【デモ機貸し出し可能!】石英管の形状に合わせ対応致しますので御相談下さい

  • その他半導体製造装置

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小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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対象ワーク:2"□~5"□基板又はφ2"~φ5"基板に適用!

  • コーター
  • その他半導体製造装置

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