半導体製造装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

装置内の狭いスペースでの作業時や、電路の引き回し設計においてフレキシブルな接続を可能とするコネクタを提供！！

• その他産業用ロボット
• その他半導体製造装置
• その他コネクタ

エアスピンドルモータ

• 半導体検査/試験装置
• ウエハ加工/研磨装置

製品多様真空部品-アダッブタシリーズ

• 真空機器
• スパッタリング装置
• 蒸着装置

パワーデバイスの特性測定に最適！高速鉄道などで使われるパワーデバイスも含め、あらゆるパワーデバイスの測定をカバーします。

• 半導体検査/試験装置
• その他電子部品
• オシロスコープ

3300Ｖ耐圧のパワーデバイスのブレークダウン測定に最適。

• 半導体検査/試験装置
• その他電子部品
• オシロスコープ

10 -10torrの真空度も対応実績あり。お客様のご要望に沿った真空チャンバーを製造した豊富な経験があります。

• 真空機器
• 恒温槽
• 蒸着装置

測定媒体温度が-10℃から最高300℃まで対応

• 半導体検査/試験装置
• 丸型コネクタ
• 圧力制御

ガス配管コンポーネント保護用ガスケット付きメタルフィルター

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

常に安定した状態で0.003μmの高濾過精度を有するガスフィルターを開発

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

高濾過精度

• CVD装置
• ステッパー
• ガスフィルタ

濾過精度

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されております。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

高濾過精度0.003μmの性能をそのままに、低圧力損失を実現！

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置
• ガスフィルタ

業界トップレベルの耐ノイズ性能を誇ります。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

優れた温度特性を有する高精度センサー

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

コンパクトな構造・高精度にして低価格

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 丸型コネクタ

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

±0.25%の高精度圧力センサー

• 半導体検査/試験装置
• 丸型コネクタ

腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６０１シリーズ

• 半導体検査/試験装置
• 丸型コネクタ

腐蝕性特殊ガス対策用圧力センサーＰＣ-６００シリーズ

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

接液部にテフロンを使用

• 半導体検査/試験装置
• その他
• 丸型コネクタ

優れた温度特性を有する表示器付高精度圧力センサー

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

歩留まりを大幅に向上

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

幅広い濾過精度に対応

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

全ての材質にハステロイを使用

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

高清浄度活性炭を内蔵

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

２００℃の高温でガスフィルターをベーキングする画期的なベーキングヒーターです。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置