半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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アイソレーターをお持ちの方へ。高い薬品耐性と作業性を実現。低価格、短納期も実現可能なグローブボックス・アイソレーター用グローブ

  • TRON 1000.PNG
  • TRON 5000 black n white.JPG
  • TRON 5000.JPG
  • CSM.JPG
  • Butyl Smooth.JPG
  • 作業用手袋

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【2026年5月20日(水)~22日(金)】「インターフェックスWeek東京」出展のご案内

株式会社イトーは、幕張メッセで開催される「インターフェックスWeek東京」に出展致します。 当展示会は、世界25の国と地域から医薬品・化粧品・再生医療の研究・製造に関するあらゆる製品・サービスが出展する展示会として、日本最大の規模で開催。 世界中から医薬品・化粧品メーカー、再生医療企業が来場します。 当社ではTron Power社製「グローブボックス/アイソレーター用グローブ」を出展致します。皆様のご来場をお待ちしております。

洗浄可能な、タッチレス(非接触)構造のバルブフィーダー!異物混入リスクを低減しました

  • フィーダー

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最大成膜温度は800℃!チャンバー加熱機構で最大4x DLI気化器を搭載可能

  • CVD装置

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ランプ加熱式の為にRTP、RTCVD処理可能!クオーツ製チューブ型チャンバー

  • アニール炉

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ターボポンプ搭載可能!低温(1100℃)/高温(1300℃)パイロメーター

  • アニール炉

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最大156mm×156mm基板対応!真空又は大気搬送装置及びロードロック搭載可能

  • アニール炉

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アニール処理後急速冷却機構!Annealsys社の高速熱処理装置をご紹介

  • アニール炉

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SI 500-1M、SI 500 PPD-1Mなど搭載可能!搬送チャンバーは3種類から

  • CVD装置

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ICPパワーによるイオン密度の制御!低温成膜、低ダメージ、高コンフォマリティーを実現

  • CVD装置

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高選択性エッチング!ICPソースと基板電極間の間隔調整によるラジカル供給の最適化

  • その他半導体製造装置

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トップクラスのスループット!柔軟性のあるモジュール化されたデザイン

  • その他半導体製造装置

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量産に必要な多くの安全対策仕様!コンパクトな装置サイズで成膜温度50~285℃

  • その他半導体製造装置

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500℃ウエハステージ!プラズマダメージの無いリモートICPソース採用

  • その他半導体製造装置

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研究開発用、小規模バッチ用!簡易除害ユニットALD Shield Vapor Trap標準搭載

  • その他半導体製造装置

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基板バイアス機構!当社のマイクロウエーブPECVD/エッチング装置をご紹介

  • エッチング装置

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最大5(220mm径)又は4(300mm径)ターゲット搭載!イオンビームスパッタ装置をご紹介

  • スパッタリング装置

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最大200mm径基板!ダブルリングマグネトロン(Fraunhofer FEP)

  • スパッタリング装置

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メカニカルクランプ又は静電チャック対応!サブナノメーターエッチング機構

  • エッチング装置

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最大150又は200mmウエハ基板対応!エッチング角度及びステージ傾斜・回転機構

  • エッチング装置

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インターロックカバーもご用意!研磨作業の更なる効率化を実現しました

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他加工機械

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研究開発用の試料作製に好適!振動と騒音を大幅に抑えることに成功しました

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他加工機械

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主軸に高精度アンギュラベアリングを採用!基準テーブル上で±10μm以内の面振れ精度を実現

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他加工機械

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真空チャック式ホルダーや貼付けホルダーなど、豊富なラインアップをご用意!

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他加工機械
  • その他機械要素

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高精度・高効率性を追求した研磨技術!精密研磨装置の総合カタログをプレゼント

  • ウエハ加工/研磨装置

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固定砥粒盤から遊離砥粒盤、ポリシングクロスまで多種多様な研磨盤をご紹介いたします。

  • CMP装置
  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他加工機械

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手動で研磨盤にダイヤモンド液を吹き付けるよりも経済的!自動噴霧装置をご紹介します

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他加工機械
  • その他理化学機器

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エッジのダレが無く、介在物の脱落も無いためEPMA等での評価に適しています!

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他加工機械

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断面観察用試料が精密かつ容易に作成可能!試料を直接手で触れたり、押さえる必要がありません

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他加工機械

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小さい試料を研磨する際に好適!1つの目的に対して1台を使用できるように設計開発されています

  • ウエハ加工/研磨装置
  • CMP装置
  • その他加工機械

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精度や納期でお困りな方必見!微細性・平滑面に対し研磨を中核とする超仕上げを駆使し、超微細・超平滑面を実現いたします。

  • ウエハ加工/研磨装置

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【メルマガ配信】フィルム、液晶、電池業界向け「塗工用ヘッドを製造」/オーケーディー株式会社

精度や納期でお困りな方必見!微細性・平滑面に対し研磨を中核とする超仕上げを駆使し、超微細・超平滑面を実現いたします。 FDPや各種フィルム・電池製造装置の塗工用ヘッドに要求される微細性・平滑面に対し研磨を中核とする超仕上げを駆使し、 超微細・超平滑面を実現いたします。 材質はSUS等が製作可能です。 ご要望の精度は当社加工技術により保証致します。 納期については工程ごとに部分受託を行います。 例えば研磨加工のみ、機械加工のみ等で時間短縮可能! 【精度一覧】 ■全長    4000mm以下 ■先端真直度 0.001mm~0.010mm以下 ■内面平面度 0.001mm~0.010mm以下 ■先端面粗さ 0.1S以下 ■内面粗さ  0.05S~0.2S以下 塗工用ヘッド(ダイコーター)を依頼される際に確認しておきたいポイントをお纏めした資料を進呈中! ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

ラッピング加工技術で、高精度の仕上げ加工が可能。研磨駆動動力が少なく、省エネルギー設計で環境配慮も実現。【機械要素技術展に出展】

  • 加工受託
  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他工作機械

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図7.png

【1月23日より】精密加工特集に掲載されます!

『研磨機では平面精度が出せない』や『面粗さがクリアできない』などお困り事がある際は、直接お問い合わせください。 【ラッピング加工の特長】 ○湿式加工によりワークに高温をかけること無く加工する為、加工歪みが少い ○ワークをチャッキングしない状態で加工する為、ワークに加工応力が入りにくく加工後の経年精度変化が少ない ○ターニングやマシニング、研削では出し切れなかった平坦度も、ラッピング加工では可能 ○精度仕上げ加工(研削、マシニング)前に、基準面のラッピング加工を行うことで高性能の仕上加工が可能

112Gbpsまでの高速テストに対応可能の金属製同軸テストソケット

  • 半導体検査/試験装置
  • その他検査機器・装置

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研磨加工の納期が1ヶ月以上かかっているというお悩みの お客様の課題解決事例をご紹介します!

  • ウエハ加工/研磨装置

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IPROS89814978142519024162.jpg

【研磨加工課題解決事例】他社製、海外製超硬カッターも研磨可能

研磨加工の納期が1ヶ月以上かかっているというお悩みのお客様の 課題解決事例をご紹介します。 ■お悩み  これまでの取引先では研磨加工を依頼した際に納期が1ヶ月以上かかって  おり、急ぎの際は間に合わず、在庫を多めに持っておく必要がありました。  それでも間に合わない時は生産ラインを止めるしかなく困っていました。 ■ご提案  研磨加工の納期短縮 ■結果  急ぎの研磨加工依頼品を送った3日後には手元に戻してもらえるころができ、  止まっていた生産ラインをスピーディーに復旧することができました。  在庫も必要最低限の数量でよくなり管理も楽になりました。 ■事例まとめ ・課題:納期が1ヶ月以上かかっていた、間に合わない時は生産ラインを  止める必要があった ・ご提案サービスのポイント:お客様の都合に合わせスピーディーに対応

独自の技術でプラズマを発生/高周波、マイクロ波電源等は使いません。 AC100Vプラグ接続のみで即稼働!

  • その他半導体製造装置

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有機ELディスプレイデバイスを恒温恒湿環境下で発光させて、輝度及び発光画面画像の加速試験を行いCSV出力ができる評価装置です。

  • その他半導体製造装置

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研究・開発・挑戦で先端産業をサポートする熊防メタルの総合カタログ

  • 加工受託
  • 表面処理受託サービス
  • その他半導体製造装置

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幅1000mmまでのワークを、大量に均一に研磨処理することが可能!R面取り加工に優れています

  • その他加工機械
  • ウエハ加工/研磨装置

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UHVチャンバー間でサンプルを輸送することを目的とした1軸サンプルトランスポーター!

  • 真空機器
  • 蒸着装置
  • 搬送・ハンドリングロボット

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研磨作業をロボットとともに自動化。3Dカメラと自動経路生成ソフトを組み合わせ、磨き作業をロボットにおまかせ!

  • ウエハ加工/研磨装置

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Universal Robots様主催・Cobot Expo Japanへの出展

Universal Robots様が開催を予定されているオンライン展示会「Cobot Expo Japan Autumn」へ、Nordbo製品のプレゼンテーションを主に出展予定です。

放熱がひどく環境が悪化していたアニール炉に「えこきーぱー」を施工した事例をご紹介!

  • その他安全・衛生用品
  • その他
  • アニール炉

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半導体材料メーカー様 必見!固体材料供給における高温化の課題への提案の事例を進呈中

  • その他半導体製造装置
  • バルブ
  • CVD装置

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立体形状部品や外周全面や平板基板の両面、立体形状の成膜に特化した表面処理用多目的スパッタリング装置。タンブラーの内面も成膜OK

  • スパッタリング装置
  • ガラス
  • 繊維

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防振ゴムでは困難な微振動・軽荷重の防振対策に威力を発揮する高性能防振材ゲルブッシュ

  • 半導体検査/試験装置

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総保有コストを減少させる事が可能!最高クラスの均一性とスループットを実現

  • エッチング装置

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セパレーター

  • その他半導体製造装置
  • その他金属材料
  • 加工受託

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静電場、静磁場内のイオン軌道、誘電体、電極、導体、コイル、磁石、磁性体、空間電化を考慮する!

  • 電子ビーム描画装置

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  • 電子ビーム描画装置

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