半導体製造装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

室温から-13°Cの強冷風！ご使用環境によりコンボタイプかセパレートタイプを選択可能！

• 冷却装置

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向上させます。

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

用途に合わせてウエハをカスタマイズ！フルラインアップのサイズでご要望にお応えしております

• ウエハ加工/研磨装置
• ウエハー
• 加工受託

多様な研磨作業に対応可能！粉じんの飛散が少なく静かな作業環境が得られます

• ウエハ加工/研磨装置

バリ取りやクリーニングまで幅広い用途に使用可能！ベルト・ホイールタイプをご用意

• ウエハ加工/研磨装置

ウェハ製造プロセス・デバイス製造プロセスで用いられるセラミックス製品を豊富に掲載！

• セラミックス
• ウエハ加工/研磨装置
• その他機械要素

材料幅はTAB/CSP/COF用で35mm～160mm、FPC用で250～300mmに対応します！

• その他
• レジスト装置

搬送速度は1.5m/min、材料幅は350mmまで対応！薬液温度・圧力を精度よくコントロール

• エッチング装置

搬送速度は5.0m／min、材料幅は310mmまで対応！金属箔（ALなど）の表面をエッチング

• 乾燥機器
• その他表面処理装置
• エッチング装置

オリジナルパワーメータによる高速調芯！お客様の要望に合わせた専用調芯装置が製作可能です

• その他半導体製造装置

有効パターンエリアを大きくとる事が可能であり、材料の有効活用ができます

• めっき装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

レーザードリルなどで、ブラインドビア及びスルーホールなどの穴あけ後にスミアを除去！

• エッチング装置
• ドリル
• 乾燥機器

移載機能と厚み測定機能を搭載しています。

• その他半導体製造装置

シリコンブロック内部異物検査装置

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

薄膜太陽電池パネル測定装置

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

結晶欠陥測定装置　(光散乱断層撮影式)

• 半導体検査/試験装置
• その他電子計測器
• 分析機器・装置

インライン型ウェハー測定モジュール

• 半導体検査/試験装置
• その他電子計測器
• 分析機器・装置

JPV法により、非接触で、PNジャンクションのジャンクション・リーク、空乏層の容量評価、PN接合試料のシート抵抗を高速に測定！

• その他検査機器・装置
• 半導体検査/試験装置

世界唯一の分光エリプソメーター技術でのEP(光学式ポロシメーター）細孔率・細孔分布測定装置

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

シリコンウェハー/ブロックのPN判定が瞬時に行えます

• 半導体検査/試験装置
• その他電子計測器
• 分析機器・装置

渦電流技術を用いて、非接触/非破壊にてシリコンインゴット/ブロックの抵抗を瞬時に測定

• 半導体検査/試験装置
• その他電子計測器
• 分析機器・装置

u-PCD法でのマッピング測定が可能であり、太陽電池、半導体のマーケットに非常に多くの実績があります

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

単結晶シリコンブロック用ライフタイム測定装置

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

ロールツーロール分光エリプソメータ

• 半導体検査/試験装置
• 距離関連測定器
• 分光分析装置

結晶欠陥分析装置(非接触、非破壊式)

• 半導体検査/試験装置
• その他計測・記録・測定器
• 分析機器・装置

2流体でウェーハを徹底洗浄します。

• その他半導体製造装置

大阪半導体製造装置の精密部品　ステンレス加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• その他半導体製造装置
• エッチング装置
• モールディング装置

半導体製造装置の旋盤加工品　A5052　丸【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

ベトナム金属加工　アルミ加工　フライス加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• エッチング装置

半導体製造装置の精密部品　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

大阪旋盤加工　医療機器SUS精密部品 【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• その他半導体製造装置

半導体製造装置　フライス加工　アルミ精密部品　 【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• その他半導体製造装置

高耐圧と低いバネ定数を兼ねそろえた4層ベローズ、強度を保って抜群のやわらかさ！

• その他機械要素
• その他半導体製造装置
• その他電子部品

温度が勝つか、技術が勝つか！耐熱性を持ち、非常に柔らかく大きな伸縮性

• その他半導体製造装置
• その他機械要素
• その他電子部品

一層山当りのバネ定数の違いで、従来品と同じ板厚でも驚きの柔らかさを発揮！

• その他機械要素
• その他半導体製造装置
• その他電子部品

高度な図形処理技術と最新の装置によるフォトマスク

• フォトマスク

お得値段～発送費無料中~

• 車輪
• 鉄鋼
• ウエハ加工/研磨装置

ロボットプログラムによる自動実装も可能。製造・物流でのコスト低減に！2液性と異なり、実装後すぐに使用も〇、熱処理の後工程が不要。

• その他半導体製造装置
• 蒸着装置

高線速・高張力加工により、～8in高硬度材の高精度・高速加工を実現！

• ウエハ加工/研磨装置
• その他加工機械

世界シェア25％を占める台湾総合電子計測器メーカーの業界別カタログ！

• 半導体検査/試験装置
• 電源装置

低重心・軽量・コンパクト！使用感を追求した「グッドバランス設計」です

• ウエハ加工/研磨装置

先端工具を付け替えて様々な作業用途に使用可能！ハイパワーバッテリーで駆動力・耐久性に優れます

• ウエハ加工/研磨装置

サンディングにおいて毛羽が少なく作業が可能！小型・軽量・高トルクタイプ

• ウエハ加工/研磨装置

軽量化し使い勝手を向上！パテ研削、フェザーエッジ出し、ワックス掛けなどに性能を発揮！

• ウエハ加工/研磨装置

微細加工

• エッチング装置

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付加価値金型のリペアに必須のドライ除膜装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置