半導体製造装置の製品一覧

電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました

• 電池・バッテリー
• 技術書・参考書
• 技術書・参考書

静電式により高い捕集率を実現。大型から小型まで豊富なラインアップを展開。水溶性オイルミストにも対応

• 空調

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハイクオリティ、多用途対応のＣｔｏＣタイプスパッタリング装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置
• その他実装機械

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先端機能材料の開発～量産に対応。デモ機でプロセスサポート。

• その他加工機械
• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物半導体・ＭＥＭＳ。幅広い実績と充実のサポート。新タイプ登場

• アッシング装置
• エッチング装置
• プラズマ表面処理装置

ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支える実績と信頼のハード＆ソフト

• リフロー装置
• アニール炉

組合せによる透湿防水等の機能の付加加工を行い、各種産業資材として提供！

• 蒸着装置
• その他高分子材料

エアー＆バキュームでクリーン環境へ！メタルマスクは機器に置くだけで簡単セット！

• その他半導体製造装置
• その他

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド・ニッチプロセスへ個別対応のプロセス＆ハードウェア

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

1.0mmx1.0mm角ウエハチップを非接触にて掴むベルヌーイチャック

• その他半導体製造装置
• 空圧機器
• その他理化学機器

枚葉基板からRoll to Rollによるフレキシブル基板まで対応！レジスト残渣が残りません

• その他半導体製造装置
• その他表面処理装置
• 基板加工機

好適ノズル設計によりムラの無い処理が可能！液シミやムラ・サビの無い仕上がり！

• エッチング装置
• その他表面処理装置

温水でフラスコに入っている有機溶剤を蒸発させる装置の開発概要をご紹介します！

• 蒸着装置

バキュームエッチング技術により高精細なパターン処理を実現！面内バラツキ無く仕上がります

• 基板搬送装置(ローダ・アンローダ)
• 基板加工機
• エッチング装置

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、豊富な経験と実績を柔軟なハード対応とサンプルテストで提供

• アニール炉
• 酸化/拡散装置
• 加熱装置

今回は鈑金製品加工について紹介します。 機械加工・溶接・塗装工程が必要な製品です

• その他加工機械
• その他半導体製造装置

ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレートをスパッタで。高い結晶性とＣ軸配向性を持つＡｌＮ膜をスパッタで作成可能。最新型成膜装置

• スパッタリング装置
• プラズマ表面処理装置

再研磨・再コーティングによって切れ味を蘇らせ、コストダウンに貢献します！

• ウエハ加工/研磨装置
• その他研磨材
• その他

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや両面処理に、コンパクトタイプＣｔｏＣエッチング装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• プラズマ表面処理装置

弊社装置は(1)ＵＶ＋オゾンで空気・空間・表面殺菌、(2)オゾン水はウイルス対策の洗浄殺菌、スプレー噴霧等にも使用できます。

• 紫外線照射装置
• その他半導体製造装置
• その他加工機械

ハンディ・卓上・ユニット・LED・コンベア型まで、様々なご用途に対応できる充実のラインナップをご用意しています。

• 紫外線照射装置
• コーター
• 刻印機

両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着面の制御を可能に。水晶振動子、薄膜抵抗に独自プロセスを提供

• 蒸着装置

極高真空を実現するオリジナル超精密鏡面加工技術

• ウエハ加工/研磨装置
• 加工受託
• 表面処理受託サービス

回路盤上の部品やパッドからハンダを簡単に外せる！わずかな使用量で吸取れます

• 加工治具
• その他半導体製造装置

特殊硝子加工の製作事例をご紹介！産業機械のタッチパネルから特殊硝子のケミカル強化まで硝子の事なら弊社にお任せ下さい！

• ガラス
• ウエハ加工/研磨装置
• 車体系部品

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置
• CVD装置

自社工場内で専任の職人による本格的バフ処理！一貫生産体制でお客様のご要望にお応えします

• 加工受託
• 製造受託
• ウエハ加工/研磨装置

耐プラズマ性に優れたイットリア（Ｙ２Ｏ３）膜をＰＶＤ法で形成。 新開発イオンプレーティング法で厚膜（１０μｍ）を実現

• その他工作機械
• その他加工機械
• その他半導体製造装置

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　ＣＶＤ代替高密度イオンプレーティング装置

• プラズマ表面処理装置
• その他加工機械
• 蒸着装置

オーバーホール前、オーバーホール後

• その他搬送機械
• その他検査機器・装置
• 半導体検査/試験装置

熱い想いでアイデアを練る！更なる未来へとつないで、新たな伝統を刻んでいく

• 製造受託
• その他機械要素
• その他半導体製造装置

お客様の様々な仕様に応える製品をご提供します！

• その他搬送機械
• その他半導体製造装置

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを実現

• CVD装置

SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコストを抑えた装置

• CVD装置

ビームエネルギー100～2,000eV！独創的な磁路設計による均一長尺イオンビーム

• 電子ビーム描画装置
• その他機械要素

MEMS加工装置用イオン源に！ご要望に合わせたオーダーメイドが可能です

• 電子ビーム描画装置
• その他機械要素

電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。Ｒ＆Ｄ用の多目的小型研究用から実績豊富な裏面電極用量産用まで、信頼と充実のラインナップ

• 蒸着装置
• その他表面処理装置

電気特性検査、レーザートリミング、信頼性試験など当社におまかせ！

• その他半導体
• 半導体検査/試験装置

量産効率やトリミング精度向上を目的としたレイアウト設計をご提案致します

• その他半導体
• 半導体検査/試験装置

独自の研磨機を使用し、お客様のニーズに応えるべく対応を行っております！

• ウエハ加工/研磨装置
• 加工受託

単結晶から金属・セラミック・樹脂までナノレベルで仕上げる表面仕上げにて対応！用途・評価ポイントなど詳しく解説しています

• ウエハ加工/研磨装置
• その他表面処理装置
• 表面処理受託サービス

当社では刃物の状態やご要望に応じて研磨ができる設備を整えております！

• 研削盤
• ウエハ加工/研磨装置
• その他洗浄機

安全に固定しながら製品に余計な力が加わらない方法を日々編み出しています

• 加工受託
• ウエハ加工/研磨装置

ご要望があればお客様の製品についてアドバイスをさせていただくことも可能です

• 加工受託
• ウエハ加工/研磨装置

エムワン精工では、極めて高精度の特殊ネジ研磨加工を得意としています

• 加工受託
• ウエハ加工/研磨装置

医療機器や各種ゲージの他、対応が困難とされるレアメタルなども対応可能です

• 加工受託
• ウエハ加工/研磨装置

機能性だけでなくコストパフォーマンスにも優れた、両立型研磨機を実現！

• ウエハ加工/研磨装置