スパッタリング装置の製品一覧

  • 分類:スパッタリング装置

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フレコンバッグやドラム缶など粉体容器の設置・後処理の負担軽減!異物混入も防ぎ、省人化も実現

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JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案!デモキット無料貸出。

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  • その他安全・衛生用品

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各コーティング方法の違いや特徴、コーティング事例、お問い合わせの多い質問をまとめた『薄膜Q&A』を無料でプレゼントします! 

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分析のご依頼もお任せください!『分析機器一覧表』無料ダウンロード!

薄膜の評価は、その薄膜をどういう目的で利用するかにより決まってきます。 例えば、その薄膜を機械的強度を高めるための成膜に用いるのであれば、評価対象として、硬度や付着性などが重要なファクターであり、 光学的特性を付与するのであれば、反射率や透過率と言った数値が重要となります。 東邦化研では「イオンプレーティング部」「材料解析部」「環境分析センター」といった三事業を柱としていることから、幅広い分析機器を保有しております。 薄膜コーティングの依頼と併せて、分析・評価まで対応可能です。 薄膜コーティング以外の”検査・分析のみ”のご案件も承っておりますので、まずはお気軽にお声掛け下さい!

【技術資料を無料進呈】緻密で硬質な成膜が可能!自動車のミラーなどの生産にも応用

  • スパッタリング装置

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多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介!

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主に半導体製造装置関連の据付、組立、改造、保守などの組立サービスをお請けします。

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半導体、プリント基板、表面処理に!高い密着力を実現する室温スパッタ装置

  • スパッタリング装置

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2017年6月7日~9日【JPCA Show 2017出展のお知らせ】

株式会社サーマプレシジョンは、世界唯一にして最大規模の電子回路関連産業展『JPCA Show(半導体パッケージング・部品内蔵技術展)』に出展いたします。 【詳細】 ■展示会:JPCA Show 2017(第47回国際電子回路産業展)      半導体パッケージング・部品内蔵技術展 ■会期:2017年6月7日(水)~9日(金)午前10時~午後5時 ■場所:東京ビッグサイト ■小間番号:東5ホール 5F-26 ■展示製品:めっき液分析装置、投影露光装置、反り測定装置、ケミカル処理装置など ■展示会ホームページ: JPCA Show  http://www.jpcashow.com/show2017/index.html

<Q&A集付> 手元に欲しい一冊!

  • 技術書・参考書
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  • スパッタリング装置

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簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/sの広域型ターボ分子ポンプを搭載。

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  • 有機EL
  • スパッタリング装置

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1インチUHV対応スパッタカソード2源!ロードロック室は増設することが可能です!

  • スパッタリング装置

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酸素や水分を排除したい研究製膜環境!多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応します!

  • スパッタリング装置

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基板寸法は最大3インチで3枚収納可能!加熱機構・逆スパッタ機構を備えています!

  • スパッタリング装置

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トランスファーロッドにより、各室間を搬送!大気解放することなく連続成膜可能!

  • 蒸着装置
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単品試作から用途に合わせて製作可能!「EBガン」や「Kセル」などをラインアップ!

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φ4インチ基盤対応のエネルギー半導体デバイス研究開発システムなどをご紹介します!

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  • スパッタリング装置
  • 分析機器・装置

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樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能!

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信頼性の高いシステムを構築!メンテナンスや改造も当社にお任せください

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2000℃以上のSiCプロセスに対応可能な単結晶成長およびCVD用部品。高温でのスパッタやイオン注入に対応する静電チャック。

  • スパッタリング装置

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 独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成(水素含有量1%以下)優れた油中トライボロジー特性、導電性カーボン薄膜にも対応

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  • プラズマ表面処理装置

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スパッタリングターゲット材について

  • スパッタリング装置

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低温環境で使用される、C1020製の低温装置用銅板プレートです。

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ヒートシンクに金メッキした事例でございます。

  • スパッタリング装置

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成膜装置で使用されるバッキングプレートです。

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酸化被膜防止を目的としたプレスパッタリングが必要なく工数削減が可能!熱膨張による割れも抑えたスパッタリングターゲットです。

  • スパッタリング装置

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高機能織物を使用してスパッタ、火、熱を防ぎ、飛散防止用途にも!

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スパッタ装置

  • スパッタリング装置

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硫化物対応も可 薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置 ターゲット~成膜テスト、専用装置まで一括対応。グローブボックス標準装備。

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  • スパッタリング装置

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半導体、MEMS、電子部品等に!単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能!

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立体物成膜での高いカバレッジを実現! 最大3台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です!

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基板温度900℃を実現!基板ステージに3軸機構を搭載し、均一な膜厚分布を実現

  • スパッタリング装置

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CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です!

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「有機EL用GB付きスパッタリング装置」や「研究開発用IBS装置」などの実績を保有!

  • スパッタリング装置

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相談だけでも歓迎!設計から製作、組立まで自社で一貫して対応!各種装置製造でお困りの方は是非ご相談ください。※製作事例資料進呈中

  • スパッタリング装置

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各種材料、基材の加工実績が豊富!基材×薄膜=光学調整・導電・抗菌/ウイルス

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  • 加工受託
  • 表面処理受託サービス

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R&Dやニッチプロセスへの対応に特化 量産用装置では困難な少量生産や試作・研究開発のための新型マルチチャンバスパッタリング装置

  • スパッタリング装置
  • プラズマ表面処理装置

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スパッタ装置用、PLD装置用の2つの接続ポートを装備!各試料ホルダーへの試料の移載が可能

  • スパッタリング装置

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ほぼ理想的な混合物が作成可能!直線性に優れ、試料内の幾何学的な配置と組成が1対1に対応

  • スパッタリング装置

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高エネルギーを利用して材料そのものを叩き出す、再現性に優れた成膜技術!

  • 加工受託
  • ウエハー
  • スパッタリング装置

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アルミ切削/アルミ加工/アルミ機械加工

  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • コーター

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旋盤加工/アルミ加工/精密部品加工

  • CVD装置
  • スパッタリング装置
  • アニール炉

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500~1200mmサイズの加工を得意とし、1000分台の精度保証対応が可能です。まずはご相談ください。

  • ステッパー
  • スパッタリング装置
  • 半導体検査/試験装置

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切削加工/金属加工

  • スパッタリング装置
  • アニール炉
  • レジスト装置

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逆スパッタも可能!500Wの高周波電源を1台搭載し、金属・酸化物・絶縁物等の成膜が可能です

  • スパッタリング装置

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プランゼーの高機能材料(タングステン・モリブデン)製品がオンラインで購入できます。板、棒、ワイヤー、蒸着部品、ヒートシンクなど

  • 非鉄金属
  • 工業炉
  • スパッタリング装置

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CNC旋盤加工・アルミ精密切削・半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

  • スパッタリング装置
  • CVD装置
  • イオン注入装置

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