半導体製造装置の製品一覧
- 分類:半導体製造装置
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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!
- その他搬送機械
センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用!
- CVD装置
大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で!センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計。コンパクトで設置スペースも節減!
- 蒸着装置
430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます!正方形、長方形、不定形など用途に合わせて塗布できます。
- コーター
自動機を購入するほど生産量が多くないが、プロセスの再現性を求めるお客様向けのセミオートデベロッパーです。
- レジスト装置
少量多品種生産、開発用途向けのコンパクトレジスト現像装置です。枚葉式のため、DIPと違い品質を安定させることができます。
- レジスト装置
逆テーパー角度を一定に!ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに必要な露光後ベーク(PEB)対応自動レジスト現像装置です。
- レジスト装置
実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせて、枚葉による高速処理・高洗浄力・低消費薬液が可能。
- その他半導体製造装置
【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥離力・低消費薬液での膨潤・高圧ジェットリフトオフを実現!
- レジスト装置
枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向上・プロセス安定ニーズにお応えするレジスト現像装置です!
- レジスト装置
厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状(円形、扇等)、圧力、流量などを自由に選択できます。
- レジスト装置
高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在!2流体スプレーレジスト現像装置。厚膜などの現像時間を短くするのに有効です。
- レジスト装置
ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットでありながら、どんな反りウェハでも搬送可能です!
- コーター
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度~高粘度レジスト対応!どのウェハサイズの装置も作製可能です!
- コーター
レジスト塗布~露光~現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォトリソ工程装置の総合メーカーだから実現可能な特殊装置です。
- コーター
短時間剥離!当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処理・高剥離力・低消費薬液でのリフトオフを実現しました!
- レジスト装置
【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理!】複数サイズ兼用装置はダウンタイムが少なく、生産性が高いリフトオフ装置を実現!
- レジスト装置
光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、完全非接触ギャップ管理、オートアライメント機能搭載です。
- その他半導体製造装置
パスラインが一定でライン化に好適!材料のはね返りを防ぎ安全性を向上した逆転防止ロール付
- その他加工機械
- ウエハ加工/研磨装置
各ヘッドは単独での昇降が可能!厚み規正から仕上げまで効率良く高精度な加工ができます
- その他加工機械
- ウエハ加工/研磨装置
- その他切削工具
最小加工長さ90mmの"SFC20(乾式)"、金属表面・研削研磨加工機"SSシリーズ"等をラインアップ!
- その他加工機械
- ウエハ加工/研磨装置
【特に人気のある3事例をまとめて進呈中!】「バルブを変える」ことでトラブル発生率低下も。作業者を危険から守る安全対策のヒント集
- その他半導体製造装置
- バルブ
- CVD装置
『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様 必見!分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブの事例を進呈中
- その他半導体製造装置
- バルブ
- CVD装置
『流路まるごと事例集』錠やタグ付きワイヤーでバルブをロック!バルブ誤操作対策の事例を進呈中
- その他半導体製造装置
- CVD装置
- 酸化/拡散装置
『流路まるごと事例集』バルブ半開によるヒヤリハット事例がある方、狭所での閉止確認にお困りの方必見! 安全対策の事例を進呈中。
- CVD装置
- 酸化/拡散装置
- その他半導体製造装置
『流路まるごと事例集』半導体ガス供給装置輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中
- その他半導体製造装置
- CVD装置
- 酸化/拡散装置
半導体原料容器輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中。
- その他半導体製造装置
- バルブ
- ステンレス容器
『流路まるごと事例集』バルブ全体を最高200℃ の高温環境で使用できるPFA樹脂シートのダイヤフラムバルブの事例を進呈中
- 蒸着装置
- その他半導体製造装置
- バルブ
除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見! 高温(180℃)バルブで副生成物を抑制した事例を進呈!
- CVD装置
- 酸化/拡散装置
- その他半導体製造装置
『流路まるごと事例集』ワイヤーや錠の取付け不要!ヒューマンエラーによるバルブの誤作動を防止するロック付きバルブの事例を進呈中
- CVD装置
- その他半導体製造装置
- バルブ
銀、銅(6N)、錫(6N)など様々な大型スパッタリングターゲットの切削加工はおまかせください!
- 加工受託
- 製造受託
- その他半導体製造装置
【~300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用! 高精度な動作が可能な真空用ウエハ搬送ロボット
- 搬送・ハンドリングロボット
- その他半導体製造装置
- その他搬送機械