CVD装置の製品一覧

【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減！】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録！ワークに応じた無料相談、テストも受付中！

• その他搬送機械

１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

• センサ

CNC旋盤加工・アルミ精密切削・半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• イオン注入装置

A5056／旋盤加工／アルミ加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

アルミ切削／A5052／旋盤加工／大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• スパッタリング装置
• 半導体検査/試験装置

プラズマCVD装置

• CVD装置

これまでの加工実績をベースに行ったGaNのトレンチ加工をご紹介します

• CVD装置

GaNマイクロLEDメサ加工の結果、GaNマイクロLEDメサ加工中の発光分光データなどを掲載！

• CVD装置

プラズマCVD装置

• CVD装置

ブレードダイシングとプラズマダイシングの比較などを掲載しています

• CVD装置

シリコンのノンボッシュプロセスの新しいデータを掲載しています

• CVD装置

Aqua Plasmaの効果として、ESCAによる表面の深さ分析結果などを掲載しています

• CVD装置

3.0x3.0mmから10.0x10.0mmまでのサイズをラインアップしています！

• CVD装置
• その他

3.0x3.0mmから10.0x10.0mmまでのサイズをラインアップしています！

• CVD装置
• その他

・標準サイズの製品が多数・Easy installation 簡単設置 ・精密焼結拡散接合 （ 同時焼結 ） ・高い流量

• CVD装置

アルミ加工　アルマイト処理　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• スパッタリング装置
• CVD装置
• 蒸着装置

ステンレス加工　フライス加工　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】　

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

横の許容は+0.2/0-0mm、厚さの許容は+/-0.05mm！電子グレードCVDについてご紹介します

• CVD装置
• その他

3.0x3.0mmから10.0x10.0mmまでのサイズをラインアップしています！

• CVD装置
• その他

側面粗さRaは、研磨済み、Ra＜5nm！光学グレード単結晶をご紹介します

• CVD装置
• その他

0.25mmと0.50mmの厚みをラインアップ！多結晶メカニカルのご紹介です

• CVD装置
• その他

1,000W/mKから2,000W/mK以上までの熱伝導率を設計！多結晶サーマルをご紹介します

• CVD装置
• その他

商業的使用に好適！非常に安定性があり、予測可能な特性と挙動を持っています

• CVD装置
• その他

横の許容範囲は+0.1/0-0mm！単結晶メカニカルをご紹介します

• CVD装置
• その他

真空中の試料や機器等に、大気側から直線運動を伝達する導入機です。

• スパッタリング装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

真空チャンバーを製作いたします

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

アルミ五軸加工　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• 加熱装置

大阪　切削量産　旋盤加工・マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

アルミ精密部品　旋盤加工　マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• 半導体検査/試験装置

アルミ精密加工　大阪　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

五面五軸加工　半導体製造装置部品【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• 半導体検査/試験装置
• エッチング装置

アルミ半導体装置部品加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• エッチング装置
• その他半導体製造装置

半導体製造装置の旋盤加工品　A5052　丸【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

半導体製造装置の精密部品　【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置

半導体製造装置　フライス加工　アルミ精密部品　 【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

• CVD装置
• その他半導体製造装置

高純度を要求される半導体製造工程でのイオン注入には多数のカーボンが使用されます。その高純度カーボンのご紹介です。

• ファインセラミックス
• イオン注入装置
• CVD装置

粒子専用のALD（原子層堆積 Atomic Layer Deposition）装置　 ナノスケールの粒子を成膜できます。

• リチウムイオン電池
• CVD装置
• その他表面処理装置

3種類の堆積装置をラインアップ！用途に合わせてお選びください

• CVD装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。 安定のハードと先進のソフトで次世代のＩＲコーティングを実現

• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置
• CVD装置

装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを実現

• CVD装置

SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコストを抑えた装置

• CVD装置

各種各様の素材・規格に対応可能でございます。

• シール・密封
• CVD装置
• 蒸着装置

炉のスライド移動による急冷機構を搭載

• その他理化学機器
• CVD装置

AtomSpectraDBViewer 高速便利に検索！新バージョン登場！

• CVD装置
• 化学薬品
• 分光分析装置

3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しました

• CVD装置