マスフローコントローラー『SFC5500-50sccm』
複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた!医療、分析、産業の環境での幅広い用途に
『SFC5500-50sccm』は、マイクロサーマル測定原理に基づいた マスフローコントローラーです。 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用。ドリフトすることがなく、市場で 再校正する必要がありません。 また、実現出来る幅広い流量制御範囲によって、一台の製品で複数の 流量範囲に対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量:0.05slm ■フルスケール流量:50sccm ■精度:0.2%FS or 2% SP ■最高使用圧力:10bar ■キャリブレーション:Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート:Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:センシリオン株式会社
- 価格:応相談