インラインコーティングシステム(FCVA)
スパッタとの組み合わせも可能!大量生産に適したインライン式FCVA装置
当社の『インラインコーティングシステム(FCVA)』をご紹介します。 大量生産に適したインライン式FCVA装置。 チャンバー数を任意に選定可能です。 また、スパッタとの組み合わせも可能。 ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構です。 【特長】 ■FCVAとスパッタを装備 ■ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構 ■DC、MF、RFのスパッタ電源が選択可能 ■自公転タイプサンプルフォルダー ■チャンバー数を任意に選定可能 ■最大基板サイズ:φ900mm x 500mm(H) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社ナノフィルムテクノロジーズ ジャパン
- 価格:応相談