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高さ1.5mの平板サンプルに成膜可能！大量生産に適したインライン式スパッタ装置
当社の『インラインコーティングシステム（スパッタ）』をご紹介します。 大量生産に適したインライン式スパッタ装置。 高さ1.5mの平板サンプルに成膜可能です。 金属膜をはじめ、セラミック膜、フラットパネルディスプレーなどに お使いいただけます。 【特長】 ■最大基板サイズ：<3m(L) x 1.5m(H) ■均一性：±5％以内 ■90°垂直搬送システム ■チャンバー数を任意に選定可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
より高い性能が期待できる非球面レンズに採用された事例の紹介
デジタルスティルカメラや携帯電話に代表される小型端末機器においては、より高い性能が期待できる非球面レンズが必要となってきています。 従来のDLC膜は硬く、摩擦係数も低くコーティング膜として採用されて来ましたが、ガラス硝材の性能多様化に伴い十分な成型寿命を実現出来ないケースが発現してきました。 『ta-C膜』はダイヤモンド結合Sp3成分が多いことでDLCに比較してより硬く、摩擦係数も低く、更に反応性エッチングにより容易に金型面から剥離できることから、DLC膜に置き換わって採用されています。 【アプリケーション事例】 ○単純なta-C膜ではレンズの成型中に金型からの剥離が起こりやすい ⇒FCVAコーティング方式の特徴であるバイアス電圧付加により多層膜を実現 ○寿命が従来のDLC膜に比較して4倍になったケースもある 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
スパッタとの組み合わせも可能！大量生産に適したインライン式FCVA装置
当社の『インラインコーティングシステム（FCVA）』をご紹介します。 大量生産に適したインライン式FCVA装置。 チャンバー数を任意に選定可能です。 また、スパッタとの組み合わせも可能。 ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構です。 【特長】 ■FCVAとスパッタを装備 ■ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構 ■DC、MF、RFのスパッタ電源が選択可能 ■自公転タイプサンプルフォルダー ■チャンバー数を任意に選定可能 ■最大基板サイズ：φ900mm x 500mm(H) ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
