更新日： 集計期間:2025年04月16日～2025年05月13日
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【短納期】XY超精密グラナイトエアスライダー搭載！レーザー各種に対応可能なステージ ※デモ機あり
『GRANAS-40XY-GL』は、レーザ、ガルバノとXY超精密ステージが 同期連動して動作可能なシステムです。 溶接、切断、スクライブ、穴あけ等のレーザー微細加工をはじめ、 レーザーマーカ、計測機器にご使用いただけます。 【特長】 ■レーザー各種に対応可能(532nm、パルスレーザー、他) ■キヤノン製ガルバノスキャナ搭載 ■XY超精密グラナイトエアスライダー搭載 ■コントローラPowerPMAC搭載 【当社がお選びいただく理由】 ・5000×3000クラスの石を常に在庫で持ち、切断から製品完成までの一貫生産により短納期にも対応 ・平面／平行／直角精度保証値は、お客様のニーズにお応えします。 ・石製品の修正／改造／メンテナンスを行います。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
顕微鏡での使用を前提に設計された高精度・高分解能でさらに低振動の薄型の電動ステージです。
精密クロスローラベアリング、高度な組み立て技術、そして独自の無給油システムにより、高い精度を長期間にわたり安定して維持します。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
コストパフォーマンスに優れ、フットプリントが小さい省スペースタイプ。 リニアモーター採用により発塵が少ない。 FPD用大型マスク検査、リペア用に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
ステージ幅3サイズ、ストローク計8機種を準備！短納期・低価格を実現し、2軸の組合わせも自由！
『N8シリーズ』は、専用ドライバー・ケーブルをセットにした 単軸精密ステージです。 アルミ合金(硬化処理)を本体に採用し、軽量化。 低イナーシャにより、X-Yステージとしても使用できます。 また、原点、ストロークリミットの各センサーを標準で内蔵しており、 送り機構は1mmリードボールねじにより高精度位置決めを実現しています。 【特長】 ■アルミ合金(硬化処理)を本体に採用し、軽量化 ■低イナーシャにより、X-Yステージとしても使用できる ■取付穴を共通化、異なるサイズでX軸・Y軸の組合せが自由 ■支持機構はクロスローラーガイドにより高耐荷重、高剛性 ■送り機構は1mmリードボールねじにより高精度位置決めを実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化
材料研究・開発・評価など貴社の機器システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！
カスタム手動XXYZステージRXY-300はリニアガイド、精密ボールねじを採用した精密手動XYステージです。 レイアウトに合わせたステージを製作いたします。 X 軸（粗動）、X軸（微動）、Y軸（微動）ストロークカスタムにも対応いたします。また治具、機器類取り付け用孔もカスタム対応可能です。 2軸構成で、最薄100mmです。各軸ともにロック機構を採用しております。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
エンコーダ内蔵！高分解能位置決めステージ
自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
レイアウトに合わせたステージを製作いたします。
「SXY300」は、リニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージで、廉価にて、ステージの構成が可能です。 材料研究、開発、評価、検査工程など貴社の機器システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品。 【仕様カスタマイズ】 ○X Yストローク 200mm ○プレートサイズ □300mm ○耐荷重 10kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました！
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。
高精度ナノポジショニングステージ、3～6軸
PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。 【特徴】 ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○動作軸：XYZ軸 〇ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○比類のないスキャニング平坦度 ○高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能 ○センター開口部66 x 66mm ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
焼入れ鋼材と再循環ボールベアリングガイドによる、優れた剛性と熱安定性！
『X-LRMシリーズ』は、耐荷重50kgの精密電動リニアステージです。 優れた剛性と熱安定性を持っており、コントローラ内蔵で、 他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能。 また、ロータリーエンコーダ内蔵タイプで、スリップ/ストール検出機能と 自動回復機能付きの「X-LRM-Eシリーズ」などもございます。 【仕様】 ■ストローク長：25、50、100、150、200mm ■負荷容量（耐荷重）：最大500N ■最高速度：100mm/s ■最大推力（トルク）：50N ■最高分解能：50nm ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コントローラ内蔵でほかのZaber製品とデイジーチェーン接続可能！
『X-LSMシリーズ』は、最大耐荷重が10kgの精密電動リニアステージです。 最高速度が104mm/s、最大推力（トルク）は55Nとなっており、 コントローラ内蔵でほかのZaber製品とデイジーチェーン接続可能。 また、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付きの ロータリーエンコーダ内蔵タイプ「X-LSM-Eシリーズ」もございます。 【特長】 ■最大耐荷重：10kg ■コントローラ内蔵 ■ほかのZaber製品とデイジーチェーン接続可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
70mm～3000mmまでのストローク長！ベルトドライブ高速ステージ
『X-BLQ-Eシリーズ』は、最大2m/sの高速タイプの 精密電動リニアステージです。 エンコーダ内蔵によるスリップ/ストールからの 自動回復、位置フィードバックが可能。 また、繰り返し位置決め精度は＜10μm、 最高分解能が4.21875μmの製品となっております。 【特長】 ■70mm～3000mmまでのストローク長 ■最大2m/sの高速タイプ ■エンコーダ内蔵によるスリップ/ストールからの自動回復、 位置フィードバック ■内蔵コントローラにより他Zaber製品とデイジーチェーン接続が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
