手動直動ステージ XYZ軸リニアボールガイド(SS)ステージ
高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
XYZ軸リニアボールガイド(SS)ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
- 企業:駿河精機株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年03月26日~2025年04月22日
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高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
XYZ軸リニアボールガイド(SS)ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
BESTなステージを製作いたします!
材料研究・開発・評価など貴社の加熱プロセスへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品です。 駆動方式は使用により選定可能です。治具、機器取り付け用孔カスタムにも対応しております。 各軸ともにロック機構で、固定用足/アングルなどもカスタム対応いたします。 Z軸駆動は、スライド方式により、精密なZ軸調整とステージの薄型をはかっています。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
XYZステージ XYZシリーズ
3軸の移動機構により、加熱機構や各種導入機 その他コンポーネントの位置調整用に最適な中空XYZステージ 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等 各種超真空装置に使用可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応 ○2本の調整ツマミにより、X-Y移動が可能 クロスローラベアリングによる精密移動 ○トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機等と 組み合わせることにより真空内への多軸運動伝達が行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
高精度ナノポジショニングステージ、3~6軸
PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング/ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。 【特徴】 ○パラレル制御/計測構造による応答性の向上/多軸の精密制御 ○動作軸:XYZ軸 〇ストローク:100µm、200µm、300µmタイプ ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○比類のないスキャニング平坦度 ○高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能 ○センター開口部66 x 66mm ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
パラレルメカニズムのため3軸とも同一性のあるダイナミック特性!
『P-611.3/P-616』は、すぐれた分解能と高速応答ができる NanoCubeU(R)XYZ軸ピエゾステージです。 コスト効率の高いメカニクス/エレクトロニクスシステム構造。 歪みゲージセンサー付きの「P-611.3S」をはじめ、 「P-611.3SF」や「P-616.3C」などをラインアップしています。 【特長】 ■最大100×100×100μmのトラベルレンジ ■きわめてコンパクトで軽量 ■すぐれた分解能と高速応答 ■高速3軸スキャニング ■摩擦がなく高精度なフレクシャガイドシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ガントリ型 4軸ステージ
石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 300mmサイズまでの検査工程に最適 ○通常の4軸ユニットに比べ 高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により 低く抑えることができ、高速での移動でも テーブルの揺れがなく等速性に優れる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
大気中・真空中・低温環境での試料やプローブの回転動作・角度微調整に対応
コンパクト設計により様々な走査型電子顕微鏡(SEM)、集束イオンビーム装置(FIB)等に組み込むことが可能です。(詳細はご相談になります) 回転角度が検出可能な機種もオプション設定しております 。 当社製XYZ 3軸ナノマニピュレータ/プローバのZステージを取り付けることにより、XYZ+R(回転)の4軸ステージ対応が可能です 。 Windows PCを用いた簡単操作を実現しました。
製品の設計~製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
小型の3軸位置決めステージで手のひらに収まるほどの大きさ(ステージ部分の最大外形:(65)×(65)×(65)mm)です。 3軸の位置決めステージを□40ベース(□40×7t)の側面に接続した構成です。 写真中央に見える治具(20×10×8mmの部品)を3軸で移動できます。 □40ベース上にセットしたサンプルに対し、当て治具を利用してプローブなどで位置出しや測定などに使用した例です。 □40スペーサに、希望の取付穴(キリ穴とザグリの組み合わせ)を設けることで、ステージ製品などと組み合わせてお使いいただけます。 リンク先は、カスタマイズの事例集です。
サイズ60mm四方で、XYZ軸の組合わせが可能なコンパクトリニアステージ
【DCモータ、ステッピングモータを使用したリニアステージ】 ■トラベルレンジ:5~25mm ■最小移動量:0.2µm ■耐荷重:30N ■サイズ:60×62×20mm~ ■XY軸、XYZ軸にセットアップ可能で、真空にも対応(10^-6hPa) 【コンパクトなリニアステージ、多用途】 ■ベルト駆動が折り重なったコンパクトサイズのリニアステージです ■開口部は10 mm Øです ■XYセットアップをアダプタープレートなしで直接マウントできます 【位置計測】 ■DCギヤモーター搭載の別タイプ:モーター軸にロータリーエンコーダーを搭載 ■非接触ホール効果基準点スイッチとリミットスイッチ 【駆動】 ■2相ステッパーモーターまたはクローズドループDCギヤモーター ■バックラッシュ補正のリードネジやボールネジ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
リモコン、携帯端末、タブレット、の検査に最適です!機器に搭載された、スイッチ等の耐久試験に!
『大型端末検査用ステージ/QPS-102』は、各種携帯端末のスイッチ、表示部の点灯・消灯などの耐久試験を自動で行うXYZ3軸ステージです。 大型の端末や製品の検査用に、お客様のご希望のサイズのステージをご用意いたします。 また、動作、機能試験として、お客様がご希望される任意の測定ファンクションを追加可能です。 USBインターフェース(又はGP-IBインターフェース)を内蔵したコントローラ部と、様々なファンクションの測定器を接続する事で、各種計測システムのプローバーとしてもご利用頂けます。 また、各種計測機能をプラグイン・ユニット化し、コントローラ部に組み込む事も可能です。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
タッチ・パネルや携帯端末、スイッチの耐久性試験に最適です。検査装置、計測装置の自動プロービング用に!
『携帯端末検査ステージ/QPS-101』は、各種携帯端末のスイッチ、表示部の点灯・消灯などの耐久試験を自動で行うXYZ3軸ステージです。 予め設定したプログラムで、携帯端末のスイッチのOn/Offをマトリクスに行い、機能の動作状態、各種スイッチの耐久試験、機能試験を自動的に行います。 データは制御用PCにCSVファイルとしてハードディスクに保存されますので、試験データ管理も容易です。 携帯電話、スマートフォン、タブレット等、様々な携帯端末にご使用頂けます。 また、機器に搭載されたスイッチの耐久試験、機能の計測試験にもご利用頂けます。 さらに小型化し、繰り返し位置精度を上げ、小型精密製品を検査することも可能です。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です
レイアウトに合わせたステージの制作が可能!
【特徴】 ○カスタムXYZ 3軸ステージ ○レイアウトに合わせたステージを製作致します。 ○Z軸 ストロークカスタム対応 ○コンパクトなスライド軸方式により、薄型のZステージ構成 ○高耐荷重 (10~30kg) タイプ ○OEM対応可能 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
多軸構成が可能なピエゾステージ
小型で多軸構成が可能な、1軸ピエゾステージで、X軸・Z軸をご用意しています。 複数の製品を組合せることでXYZ軸など多軸の構成もできます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。
コンパクトで高精度!筐体にアルミを使用し軽量化
『クロスローラガイド』は本体材質にアルミを用い、軽量・コンパクト・高精度 な自動ステージです。 V溝レールとクロスローラによる線接触の為、高い剛性が得られます。 作動すべりがほとんどなく、低摩擦で微小送りにも適しています。 「KXCシリーズ」はセンサがステージ筐体に埋め込まれている為、 テーブル面からのでっぱりが少なく左右勝手を気にせずご使用いただけます。 「KXシリーズ」は薄型筐体でありながらも高剛性があります。 最大耐荷重25kgまで対応しております。 【特長】 ■軽量 ■コンパクト ■高精度 ■水平面Zくさび方式 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。