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高精度ナノポジショニングステージ、3～6軸
PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。 【特徴】 ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○動作軸：XYZ軸 〇ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○比類のないスキャニング平坦度 ○高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能 ○センター開口部66 x 66mm ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
パラレルメカニズムのため3軸とも同一性のあるダイナミック特性！
『P-611.3/P-616』は、すぐれた分解能と高速応答ができる NanoCubeU(R)XYZ軸ピエゾステージです。 コスト効率の高いメカニクス／エレクトロニクスシステム構造。 歪みゲージセンサー付きの「P-611.3S」をはじめ、 「P-611.3SF」や「P-616.3C」などをラインアップしています。 【特長】 ■最大100×100×100μmのトラベルレンジ ■きわめてコンパクトで軽量 ■すぐれた分解能と高速応答 ■高速3軸スキャニング ■摩擦がなく高精度なフレクシャガイドシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です
多軸構成が可能なピエゾステージ
小型で多軸構成が可能な、1軸ピエゾステージで、X軸・Z軸をご用意しています。 複数の製品を組合せることでXYZ軸など多軸の構成もできます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。
堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。
Piezo System Jena(ピエゾシステムイエナ)社のピエゾアクチュエーターは堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。コンパクトなXYZ３軸ステージ、ティルトミラー、スタックタイプ対物レンズ用、スリット用ファイバースイッチなど幅広い分野にお使いいただいています。ストレンゲージセンサー、インダクティブセンサー、キャパシティブセンサー等を使用しフィードバック制御をおこなったモデルもございます。光学系のアライメントや干渉計・精密加工・精密計測・半導体関連装置などの高い位置精度が求められる分野において多数お使いいただいています。専用ドライバーも高性能･低ノイズ（3mVP-P）のため高い分解能が実現できます。 特に低ノイズが要求されるアプリケーション用に、200NVという超低ノイズドライバーも御用意しています。 【ラインナップ】 ○対物レンズフォーカシングアクチュエーター ○高剛性オリエンテーションフリーステージ ○高剛性薄型高進直性ステージ（X X-Yステージ） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
