66 mm開口×XYZ軸最大300 µmをナノオーダーで精密位置決め
P-561〜563シリーズは、パラレルキネマティクス構造と静電容量式センサを採用したXYZ軸動作ピエゾナノポジショナ。 動作量は、XYZ 各100／200／300 µm（モデル別）で再現性は±2nm、リニアリティ：0.03％をもちます。 開口は、66×66 mmで透過光・レーザ光路を確保します。 ダイレクト駆動タイプは、XY軸45µｍ、Ｚ軸15µｍ動作で、1000Hzの無負荷時共振周波数を持ち、高分解能で高速応答が実現します。 また、PICMAピエゾセラミックスは、オールセラミックスで絶縁されており対湿度性をもち、高信頼性、長寿命を確保します。半導体検査、超解像顕微鏡、フォトニクス調整などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
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基本情報
・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ・動作軸：XYZ軸 ・ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ・静電容量センサーによる高いリニアリティ ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・比類のないスキャニング平坦度 ・高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能 ・センター開口部66 x 66mm ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
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納期
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用途／実績例
応用例 ・走査型顕微鏡 ・マスク／ウェハー位置決め ・干渉計 ・各種計測 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
