更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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案内ガイド一体構造で薄型を実現！豊富なバリエーションをご用意
『PGシリーズ』はX軸リニアボールガイド「PG413」や「PG513」など 案内ガイド一体構造で薄型を実現した自動ステージです。 テーブルサイズ、センサオプションなど豊富なバリエーションを ご用意しています。 使用条件に応じて最適な機構の製品、ご使用方法をご案内いたしますので お気軽にご相談ください。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ■ACサーボモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクトで豊富なラインナップ！用途に合わせお選びいただけます
『KXG/KXLシリーズ』は駿河精機が取り扱っている自動ステージです。 「KXGシリーズ」は従来のリニアボールガイド、クロスローラガイドステージ よりコンパクトな仕上がり。 「KXLシリーズ」は30mm～300mmまでの豊富なラインナップから 用途に合わせてお選びいただけます。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ■ACサーボモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
3次元解析や欠陥マップ表示などが可能！目的に応じた専用測定プログラムを設計開発
インラインプロファイル測定用多目的3軸ステージを 使った測定装置のご紹介です。 インラインプロファイル測定器と組み合わせ、目的に 応じた専用測定プログラムを設計開発致します。 3次元解析や欠陥マップ表示などが可能です。 【制御方式】 ■専用コントローラ ・制御プログラムを利用せずに簡単操作 ■CC-Link ・PLCによる制御で専用機 ■RS-232C ・PCによる制御で専用機 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現！カスタムメイド対応可能
『τ Linear Stage』は、リニアサーボモータを搭載した高精度ステージです。 X/XYステージを標準ラインアップし、ダイレクトドライブモータ τDISCをθ軸として搭載したXθ/XYθステージの構築も可能。 多ヘッドステージ、XYZ軸ステージ、保護カバー付きステージなど、 お客様の装置仕様にジャストフィットするリニアステージをご提供します。 【特長】 ■高性能保証（オプション） ■豊富なラインアップ ■カスタムメイド対応可能 ■高品質（充実した測定環境体制） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ストロークの長い、コンパクトなナノポジショニングシステムシリーズ。ストローク50～1800μm
単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50～1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。 【特徴】 ○ストローク50～1800μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.02%の位置決め精度 ○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、Z、XYZバージョン ○真空対応バージョンも用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。
Piezo System Jena(ピエゾシステムイエナ)社のピエゾアクチュエーターは堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。コンパクトなXYZ３軸ステージ、ティルトミラー、スタックタイプ対物レンズ用、スリット用ファイバースイッチなど幅広い分野にお使いいただいています。ストレンゲージセンサー、インダクティブセンサー、キャパシティブセンサー等を使用しフィードバック制御をおこなったモデルもございます。光学系のアライメントや干渉計・精密加工・精密計測・半導体関連装置などの高い位置精度が求められる分野において多数お使いいただいています。専用ドライバーも高性能･低ノイズ（3mVP-P）のため高い分解能が実現できます。 特に低ノイズが要求されるアプリケーション用に、200NVという超低ノイズドライバーも御用意しています。 【ラインナップ】 ○対物レンズフォーカシングアクチュエーター ○高剛性オリエンテーションフリーステージ ○高剛性薄型高進直性ステージ（X X-Yステージ） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ロングストローク、しかも高分解能（5nm 更に高分解能も特注で可）
アパチャー付き ＸＹステージのKDT105は、機械的及び電気的変更のカスタム対応が可能です。高真空対応やクリーンルーム仕様納品も可能。また、非磁性オプションが可能で、可動範囲設定リミットスイッチ付です。XYZ-３軸ステージはMP 84-LMとなります。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプションも可能です。また、KDT180-LMは、モータ数は1軸につき1個です。オプションで2個まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
最終段位置計測と長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシリーズ。0.02%の位置決め精度！
Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、 サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。 【特徴】 ○垂直ストローク：50～400μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.02%の位置決め精度 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、Z、XYZバージョン ○真空対応バージョンも用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
レーザー光軸やレンズの調心に最適！この小ささ、薄さでナノメートルオーダーの超超精密位置決めが可能です！XYZΘの組合せも自在！
nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールと ピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御 分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。 ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替え により、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。 ラインアップは、1 軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの 3 種類 4 モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせ頂けます。 カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。
ドイツ・メルツホイザー社製の高精度電動ステージです。 顕微鏡のみならず検査装置などへの組み込みもおすすめです。
ドイツ・メルツホイザー社の顕微鏡用自動XYステージは装置の自動化と高精度位置決めを必要とするアプリケーションの為に開発されました。ほとんどのメーカーの正立/倒立顕微鏡へ取り付けが可能です。 最小移動範囲は75mm x 50mm、最大移動範囲は600mm x 600mmまでご用意致します。電動Zフォーカスドライブを組み合わせれば3軸制御可能です。ソフトウエア作成用のAPI & DLLを使用すれば簡単にオリジナル装置に組み込むことができます。
半導体検査装置や半導体製造装置に最適な精密ステージ！ ナノメートルオーダーの真直度・位置決め精度を実現可能です！
◆超精密位置決めに最適なステージ！ ステージは装置の精度を司る、謂わば心臓部です。 ピーエムティーでは、ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただける、超精密ステージの製作を行っています。
【デモ機あり】繰り返し精度向上！ナノレベルで位置制御ができる、誤差を最小限に抑えたリニアステージ。直立・倒立でも使用OK！。
当社が取扱う『トゥルー・ナノ・ポジショニング』は、 ナノメーターレベルで位置制御ができる、高精度を追求したリニアステージです。 6軸ステージにより３Dでの自由曲線を描くことができます。 独自6D precisionで従来のISOによる2Dと比べ、目標位置と実際の位置との誤差を計測し、そして、最小化することにより、真のナノメーターレベルの繰り返し精度を実現できます。 【特長】 ■X-Y-Z-θｘ-θｙ-θz の組み合わせ自由 ■６D Precisionにより、真のナノメーター精度へ ■XY直交度1秒角のオプションあり ■真空オプションあり ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
使い勝手に好適なオリジナルステージをお届けいたします。
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「セミオーダーステージ(R)」は、ハンドル・予圧調整ネジ・目盛・ストッパー・ベース・Z 軸ブラケットなどがお好みで自由に選択できるユーザー仕様のステージです。 薄型・軽量でラック＆ピニオン式と送りねじ式があり、熟練の技ステージ(R)とは異なるサイズ展開で差別化を図ると共に、使い勝手に好適なオリジナルステージをお届けいたします。 【基本ステージ特長】 ○自由な組み合わせ ○優れた操作性 ○固定力の強化 ○リバーシブル設計 ○便利な機能 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ターゲット1μm以下)が可能になりました。
従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。 【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等 ■テーブルに大口径透過穴を搭載。 ■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。 ■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。
電子基板、電子部品、精密エッチング、半導体ウェハなどの検査に好適！
当製品は、EasyInspector2/DeepSkyと組み合わせて使用可能な 画像検査用のXYZ軸ステージです。 電子部品や精密エッチングなど目視では確認しづらい細かな 検査等で使用可能。 多数の検査ポイントを効率的に設定でき、オートフォーカスにも 対応しています。 【特長】 ■多数の検査ポイントを効率よく設定できる ■検査開始前のアラインメント作業も簡単 ■オートフォーカス機能により、常に鮮明な画像で検査を実行 ■撮像した画像を保存可能。ポイントごとのOK/NGをCSVデータとして保存可能 ■検査の条件により様々な照明、カメラの取り付けが可能 ■XYZの調整幅が広い為、検査対象の幅が広がる ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
