更新日： 集計期間:2026年04月01日～2026年04月28日
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最大32ch同時測定。狭小空間の風速・温度を精密に測定。
気象予測の分野では、正確な風速と温度のデータが不可欠です。局地的な気象現象の予測精度を高めるためには、詳細なデータ収集が求められます。従来の測定方法では、設置場所の制約や測定精度の問題がありました。当社の多点風速計／超小型温度風速センサは、超小型センサにより、設置場所の制約を軽減し、高精度な測定を実現します。 【活用シーン】 ・ゲリラ豪雨などの突発的な気象現象の予測 ・風の流れを考慮した都市計画 ・風力発電所の風況調査 【導入の効果】 ・高精度なデータ収集による予測精度の向上 ・局地的な気象現象の早期発見 ・詳細なデータに基づく、より正確な分析
トンネル内空変位計測にレーザー距離センサーを２－３台ご使用いただく事例が多くみられます。ぜひ、高精度・小型・軽量なセンサーを。
トンネル内空変位計測にレーザー距離センサーを２台もしくは３台使うことでシステムを構築することができます。高精度（±1mm@2σ）、小型、軽量(350g)なため非常に使いやすく、容易にシステム構築が可能です。 測定距離も100mまで（反射板使用時は500mまで）となっており、ほとんどのトンネルの環境に適しております。測定温度範囲も-10℃～、-40℃～の２タイプをご用意し、北海道での測定にも適合いたします。防水規格はIP65となっております。必要でしたら、外部にカバーを施しお使いいただくことが可能です。 当社では、使用方法、導入、コントロールソフトの開発、技術サポートも万全です｡ ご心配な点等御座いましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■高速測定 250Hzを実現 ■100m測定(専用反射板使用時500m) ■350ｇの小型軽量（140ｘ78ｘ48ｍｍ） ■測定温度使用 -40℃~+60℃ ■各種インターフェースに対応（PROFINET/EtherNet/EtherCAT） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Dimetix社製レーザー距離センサーは、世界各国の産業用/工業用途にて使われています。高速測定 250Hzを実現、IP65準拠
広い温度範囲（-40～60℃）、IP65準拠、250Hzの測定スピード、測定精度±1ｍｍを実現し、産業用途/工業用途の自動化の実現にご使用いただけます。 当社では、使用方法、導入、コントロールソフトの開発、設置後のサポート等、技術サポートも万全です｡ ご心配な点等御座いましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■高速測定 250Hzを実現 ■100m測定(専用反射板使用時500m) ■350ｇの小型軽量（140ｘ78ｘ48ｍｍ） ■測定温度使用 -40℃~+60℃ ■各種インターフェースに対応（PROFINET/EtherNet/EtherCAT） ■９９台まで同時接続可能(RS422/RS485) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※当社の非接触レーザー距離センサーの旧シリーズ（ DLS-C FLS-Cシリーズ）は在庫がなくなりましたので販売終了しております。
水晶の圧電効果とその応用についてわかりやすく説明した動画を公開中です、ぜひご覧ください！
水晶の圧電効果を利用した力センサの利点は、高い固有振動数、優れた動的分解能、広範な測定範囲を有しているということです。 力センサには、現場で使用前にプリロードをかけて組み込むタイプのロードワッシャと、すでにプリロードかけた状態で工場を出荷するフォースリンクおよびプレスフォースセンサがあり、様々な用途で使い分けられています。
レーザー距離センサーは、世界各国の産業用/工業用途にて実績あり。高速測定250Hz、IP65準拠、-40～+60℃でも測定可能
当社では、使用方法、導入、コントロールソフトの開発、設置後のサポート等、技術サポートも万全です｡ ご心配な点等御座いましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■高速測定 250Hzを実現 ■100m測定(専用反射板使用時500m) ■350ｇの小型軽量（140ｘ78ｘ48ｍｍ） ■測定温度使用 -40℃~+60℃ ■各種インターフェースに対応（PROFINET/EtherNet/EtherCAT） ■９９台まで同時接続することができます。(RS422/RS485) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※当社の非接触レーザー距離センサーの旧シリーズ（ DLS-C FLS-Cシリーズ）は在庫がなくなりましたので販売終了しております。
実績豊富。スラリーの固形分濃度のリアルタイム出力。 国内防爆対応 ノーメンテナンス 3年保証
オンライン密度センサーのパイオニア、アントンパールが提供する高精度な密度センサーでスラリー液体の測定が可能なスラリーモニターです。配管取付で、毎秒固形分濃度（ノンボラ値、蒸発残留物）濃度としてし出力します。 実液から検量線を作成するので工程別に高い精度で連続測定が可能です。 電池材料のほか、セラミックスラリーから、金属スラリー、樹脂、チョコレートなど幅広い実績を有します。 接液材質の変更も可能な連続測定用センサーのため、幅広い可能性を秘めています。 密度を直接測定し、濃度に多項式で換算するため、再現性の高さに自信があります。 下記仕様は、実用例ですので、他の測定範囲でも対応可能です。ぜひご相談ください。
精度は、２σ（±1mm）で規定しており、これは測定結果の95．4％が仕様範囲内であることを示します。１００ｍの距離を測定しても。
具体的に説明しますと ・ストキャスティックエラ-(確率誤差)とは部品や環境、宇宙からのノイズ より起りえる事。 ・温度エラ-とは部品や使用材料の温度依存。 ・カラ-シフトエラ-とは測定表面の特性の違い(黒か白色.。また反射性)よ り起因。 Dimetixは高精度で正確な製品を信頼されるサ－ビスでユ－ザ様に提供していくことを重視しており、お客様に当社の製品の品質を認識していただくため2σで記載しています。 【特長】 ■高速測定 250Hzを実現 ■100m測定(専用反射板使用時500m) ■350ｇの小型軽量（140ｘ78ｘ48ｍｍ） ■測定温度使用 -40℃~+60℃ ■各種インターフェースに対応 （RS232C/RS422/PROFINET/EtherNet/EtherCAT） ■IP65準拠
既設のクレーンにレーザー距離センサーを後付けし、クレーンの位置情報をデジタル化、工場を座標化し、衝突防止、運搬時間の低減化。
工場内、土木関係、橋梁のメンテ、鉄鋼プロセス、各種重機の制御など、絶対的な距離の測定、変位の測定、位置出しに効果を発揮。 既設クレーンに後付けし、運搬ルートのデジタル化運搬物同士、運搬物と人との衝突防止に。冷凍庫（-40℃）での稼働可。 人が手動で計測していた作業を、レーザー距離センサーで自動で、正確に計測。 当社では、使用方法、導入、コントロールソフトの開発、設置後のサポート等、技術サポートも万全です｡ ご心配な点等御座いましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■測定精度±1mm ■高速測定 250Hzを実現 ■100m測定(専用反射板使用時500m) ■350ｇの小型軽量（140ｘ78ｘ48ｍｍ） ■測定温度使用 -40℃~+60℃ ■各種インターフェースに対応（PROFINET/EtherNet/EtherCAT） ■無線対応も可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※当社の非接触レーザー距離センサーの旧シリーズ（ DLS-C FLS-Cシリーズ）は在庫がなくなりましたので販売終了しております。
トンネル内空変位計測にレーザー距離センサーを２－３台ご使用いただく事例が多くみられます。ぜひ、高精度・小型・軽量なセンサーを。
トンネル内空変位計測にレーザー距離センサーを２台もしくは３台使うことでシステムを構築することができます。高精度（±1mm@2σ）、小型、軽量(350g)なため非常に使いやすく、容易にシステム構築が可能です。 測定距離も100mまで（反射板使用時は500mまで）となっており、ほとんどのトンネルの環境に適しております。測定温度範囲も-10℃～、-40℃～の２タイプをご用意し、北海道での測定にも適合いたします。防水規格はIP65となっております。必要でしたら、外部にカバーを施しお使いいただくことが可能です。 当社では、使用方法、導入、コントロールソフトの開発、技術サポートも万全です｡ ご心配な点等御座いましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■高速測定 250Hzを実現 ■100m測定(専用反射板使用時500m) ■350ｇの小型軽量（140ｘ78ｘ48ｍｍ） ■測定温度使用 -40℃~+60℃ ■各種インターフェースに対応（PROFINET/EtherNet/EtherCAT） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
150mm以上の太さのパイプの直径を人手を介さず、自動で計測することが可能です。パイプの長さは問いません。
レーザー距離センサーを2台と９０°レーザー光をパイプ壁面に当てることにより２台のレーザー距離センサーの各々のデータを足し合わせることにより直径を計測します。 レーザー距離センサーの使用温度は-40～＋60°なので、劣悪環境下においても計測は可能です。また、測定速度も250Hzと高く、測定時間の省力化にも貢献いたします。 当社では、使用方法、導入、コントロールソフトの開発、技術サポートも万全です｡ ご心配な点等御座いましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■高速測定 250Hzを実現 ■100m測定(専用反射板使用時500m) ■350ｇの小型軽量（140ｘ78ｘ48ｍｍ） ■測定温度使用 -40℃~+60℃ ■各種インターフェースに対応（PROFINET/EtherNet/EtherCAT） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
極低温〜超高温まで対応、排ガス測定に最適な熱電対センサー
環境モニタリング業界、特に排ガス測定においては、正確な温度測定が不可欠です。排ガス中の温度を正確に把握することは、燃焼効率の最適化、有害物質の排出量管理、そして環境規制への適合に繋がります。高温環境下での耐久性、高い応答速度、そして測定精度が求められます。当社の熱電対センサーは、-273℃から2320℃までの広範囲な温度測定に対応し、排ガス測定のニーズに応えます。 【活用シーン】 ・排ガス処理プラント ・焼却炉 ・ボイラー ・各種燃焼装置 【導入の効果】 ・正確な温度測定による燃焼効率の最適化 ・有害物質排出量の削減 ・環境規制への適合 ・設備の安定稼働
工程管理用の塩化カルシウム濃度計。（Calcium chloride、CaCl2）ノーメンテナンス、高精度で毎秒測定。
オンライン密度センサーのパイオニア、アントンパールが提供する高精度な密度センサーでCaCl２の測定が可能な塩化カルシウムモニターです。 接液材質の変更も可能な連続測定用センサーのため、幅広い可能性を秘めています。 密度を直接測定し、濃度に多項式で換算するため、再現性の高さに自信があります。 下記仕様は、実用例ですので、他の測定範囲でも対応可能です。ぜひご相談ください。
クーラント液、EG系不凍液に用いられる C3H8O2 プロピレングリコールセンサーです。3年保証 ノーメンテナンス 防爆対応可能
オンライン密度センサーのパイオニア、アントンパールが提供する高精度な密度センサを用いたプロセス用のプロピレングリコールセンサーです。（Propane-1-2-diol、 Propylene glycol、C3H8O2） 接液材質の変更も可能な連続測定用センサーのため、幅広い可能性を秘めています。 密度を直接測定し、濃度に多項式で換算するため、再現性の高さに自信があります。 下記仕様は、実用例ですので、他の測定範囲でも対応可能です。ぜひご相談ください。
天井クレーンで吊り荷の揺れを把握して危険を回避する必要性を感じませんか？ 位置情報はレーザー距離センサーで測定します。
50-100mの距離で重量物を運搬する場合、吊り荷が揺れると危険というご経験はありますか？ 長距離移動はレーザー距離センサーを使い位置情報を測定してクレーンの位置決めするというシステムに、吊り荷の揺れセンサーのオプション追加をご提案しています。 測定精度 1mm、測定繰り返し精度 0.3mm、測定スピード 250Hz（最速）、動作温度 -40℃～ となっており、クレーンのモーター制御で十分な位置決め精度が確保可能です。滑りを抑える機構も不要となり、安価なシステムが実現します。 重量物の運搬にお役に立つレーザー距離センサーです。 当社では、使用方法、導入、コントロールソフトの開発、設置後のサポート等、技術サポートも万全です｡ ご心配な点等御座いましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大300µm測定範囲、0.01nm分解能の非接触変位センサー
精密機械分野では、製品性能や加工精度を高めるため、ナノメートルレベルの高精度な変位測定が求められます。特に高精度位置決めや微細加工、精密計測では、わずかな変位の変化を正確に測定することが重要です。測定精度が不足すると、製品品質の低下や装置性能のばらつきにつながる可能性があります。 D-050 / D-100は、静電容量方式による非接触変位測定を採用した高分解能センサーです。最大0.01nmの分解能により、ナノスケールの精密変位測定を実現し、精密機械装置や精密計測システムにおける高精度位置制御に貢献します。 【活用シーン】 ・精密位置決め装置 ・精密計測機器 ・半導体製造装置 ・ナノ位置決めシステム ・クリーン環境での精密測定 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの高精度変位測定 ・非接触測定による対象物への影響低減 ・高精度位置決め制御の実現 ・多軸システムにおける高精度フィードバック制御
半導体工程での実用例：硫酸とアンモニア性窒素が含まれる排液から硫酸アンモニウムを回収するプロセスで濃度センサーが重要な役割を
オンライン密度センサーのパイオニア、アントンパールが提供する高精度な密度センサーで薬液濃度の測定を行います。 調合、供給ラインの濃度管理から、再生、回収ラインなど、様々な目的に使用できます。また、液体だけでなくスラリーにも対応します。 接液材質の変更も可能な連続測定用センサーのため、溶媒、酸、アルカリなどにも対応し、幅広い可能性を秘めています。密度を直接測定し、濃度に多項式で換算するため、再現性の高さに自信があります。 下記仕様は、実用例ですので、他の測定範囲でも対応可能です。ぜひご相談ください。
産業用途（生産工程、自動倉庫、鉄鋼関連、製紙工程など）に適した高精度・小型・軽量なDimetix社製 レーザー距離センサーです。
Dimetix社製レーザー距離センサーは、産業用途に適した、高速測定 250Hzを実現した高精度レーザー距離センサーです。 当製品は、IP65準拠しており-40℃～+60℃の環境でも測定可能。 さらに、９９台まで同時接続することができます。(RS422/RS485) 当社では、使用方法、導入、コントロールソフトの開発、設置後のサポート等、技術サポートも万全です｡ ご心配な点等御座いましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■高速測定 250Hzを実現 ■100m測定(専用反射板使用時500m) ■350ｇの小型軽量（140ｘ78ｘ48ｍｍ） ■測定温度使用 -40℃~+60℃ ■各種インターフェースに対応（PROFINET/EtherNet/EtherCAT） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※当社の非接触レーザー距離センサーの旧シリーズ（ DLS-C FLS-Cシリーズ）は在庫がなくなりましたので販売終了しております。
超小型センサで、航空宇宙試験における風速と温度を精密測定。
航空宇宙業界の試験では、機体や部品の性能評価のため、正確な風速と温度の測定が不可欠です。特に、航空機の設計や開発段階では、様々な環境下でのデータの取得が求められます。不正確な測定は、試験結果の信頼性を損ない、設計の誤りにつながる可能性があります。当社の多点風速計／超小型温度風速センサは、最大32chの同時測定が可能で、航空宇宙試験における多様なニーズに対応します。 【活用シーン】 ・航空機の空力特性試験 ・エンジン性能試験 ・部品の耐久性試験 ・風洞実験 【導入の効果】 ・高精度なデータ取得による試験結果の信頼性向上 ・小型センサによる測定への影響の最小化 ・多様な形状のセンサによる柔軟な対応 ・リアルタイムデータ表示とデータ保存による効率的な分析
最大1,500MPaまで確実に測定できる、他に類を見ない圧力測定器です。長期安定性が非常に高く非常に高い精度を実現しています。
このセンサーは最大測定圧が15,000barとなっており、主に高圧アプリケーション用に開発されたものです。 超高圧を確実に測定できる、世界でも数少ない圧力センサーの1つとなっています。 長期安定性が非常に高く、最高圧力に対しても非常に高い精度を実現しました。 測定範囲：0～10,000 barまでの測定範囲において、FS±0.25 %という高精度でご使用いただくことが可能です。 優れた負荷サイクル安定性により、厳しい設置条件でも長期にわたる耐用年数を誇ります。 キャビテーションと圧力スパイクに対する保護機能は、特に厳しい条件でご使用いただくために開発されたので、これをご使用いただくことで耐用年数をさらに長くします。 特に液体媒体でご使用いただく場合にこの保護機能の採用を推奨しています。 ＜製品スペック＞ ・圧力レンジ：0...16,000bar（ゲージ圧） ・精度：≦±0.5%、≦±0.25% ・測定温度：0...80℃ ・海外規格対応 詳細は製品データシートをご覧下さい。
最大1,500MPaまで確実に測定できる、他に類を見ない圧力測定器です。長期安定性が非常に高く非常に高い精度を実現しています。
15,000barまでの高圧アプリケーション用に開発されています。 ここまでの高圧圧力を確実に測定できる、世界でも数少ない圧力測定器の1つとなっています。 長期安定性が非常に高く、最高圧力に対して非常に高い精度を実現しています。 測定範囲：0 ... 10,000 barまでの測定範囲において、FS±0.25 %という高精度で提供することが可能です。 優れた負荷サイクル安定性により、厳しい設置条件でも長い耐用年数を誇ります。 キャビテーションと圧力スパイクに対する保護機能は、特に厳しい条件でご使用いただくために開発され耐用年数をさらに長くします。 特に液体媒体でご使用いただく場合にこの保護機能を特に推奨します。 ＜製品スペック＞ ・圧力レンジ：0...16,000bar（ゲージ圧） ・精度：≦±0.5%、≦±0.25% ・測定温度：0...80℃ ・海外規格対応 詳細は製品データシートをご覧下さい。
測定間隔１秒、消耗部品なし、堅牢で、高精度な密度計を用いた重油センサー
オンライン密度センサーのパイオニア、アントンパールが提供する高精度な密度センサーで重油の測定が可能な重油モニターです。 接液材質の変更も可能な連続測定用センサーのため、幅広い可能性を秘めています。 密度を直接測定し、濃度に多項式で換算するため、再現性の高さに自信があります。 下記仕様は、実用例ですので、他の測定範囲でも対応可能です。ぜひご相談ください。
EtherCATスレーブ機器として動作し、EtherCATネットワークで温度データを収集できます。
測定点数16チャンネル 熱電対K、熱電対J、測温抵抗体Pt100、電圧測定をチャンネルごとに設定できます。 19インチラックマウントタイプ 高さ：EIA 1U 幅：430mm、奥行：208mm
サブナノメートル分解能の非接触変位測定。精密加工装置の位置制御と加工精度向上に貢献
精密加工分野では、加工精度や装置性能を向上させるために、ナノメートルレベルの高精度な変位測定が求められます。わずかな振動や位置ずれでも、加工精度や製品品質に大きな影響を与える可能性があります。 D-510は、静電容量方式による非接触変位測定を採用した高分解能センサーです。サブナノメートル分解能により、精密加工装置における位置フィードバックや振動測定を高精度に行うことができ、加工プロセスの安定化と精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・精密加工装置の位置フィードバック ・微細加工プロセスの位置制御 ・精密位置決めシステム ・半導体製造装置 ・精密振動測定 【導入の効果】 ・ナノレベルの高精度変位測定 ・非接触測定による対象物への影響低減 ・加工精度の向上 ・装置振動の高精度モニタリング
劇場からアリーナまで幅広く利用される、席の位置を知るのに適した高精度・小型・軽量なDimetix社製 レーザー距離センサーです。
Dimetix社製レーザー距離センサーは、移動式観覧席の活用に適した、長距離、高速測定 250Hzを±1mmという高精度で実現したレーザー距離センサーです。 当製品は、IP65準拠しており防塵防滴型、-40℃～+60℃という幅広い温度範囲の環境でも測定可能。 さらに、９９台まで同時接続することができます。(RS422/RS485) 当社では、使用方法、導入、コントロールソフトの開発、設置後のサポート等、技術サポートも万全です｡ ご心配な点等御座いましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■高速測定 250Hzを実現 ■100m測定(専用反射板使用時500m) ■350ｇの小型軽量（140ｘ78ｘ48ｍｍ） ■測定温度使用 -40℃~+60℃ ■各種インターフェースに対応（PROFINET/EtherNet/EtherCAT） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※当社の非接触レーザー距離センサーの旧シリーズ（ DLS-C FLS-Cシリーズ）は在庫がなくなりましたので販売終了しております。
最大1,500MPaまで確実に測定できる、他に類を見ない圧力測定器です。長期安定性が非常に高く非常に高い精度を実現しています。
15,000barまでの高圧アプリケーション用に開発されています。 ここまでの高圧圧力を確実に測定できる、世界でも数少ない圧力測定器の1つとなっています。 長期安定性が非常に高く、最高圧力に対して非常に高い精度を実現しています。 測定範囲：0 ... 10,000 barまでの測定範囲において、FS±0.25 %という高精度で提供することが可能です。 優れた負荷サイクル安定性により、厳しい設置条件でも長い耐用年数を誇ります。 キャビテーションと圧力スパイクに対する保護機能は、特に厳しい条件でご使用いただくために開発され耐用年数をさらに長くします。 特に液体媒体でご使用いただく場合にこの保護機能を特に推奨します。 ＜製品スペック＞ ・圧力レンジ：0...16,000bar（ゲージ圧） ・精度：≦±0.5%、≦±0.25% ・測定温度：0...80℃ ・海外規格対応 詳細は製品データシートをご覧下さい。
転炉の口やランスホールからの2回反射による誤計測がありません
転炉レベル測定用マイクロレンジャー「MWS-10RF」は、転炉の溶鋼面のレベルを吹錬前に測定しランス位置を正確に早く決めることが出来る他炉底のレベルを測定することができます。いつも最適位置で吹錬することで品質の向上を計ることができます。 WADECOのmWave（TM）ソフトウェアは受信信号波形、FFTスペクトル波形、測定軌跡を連続的に表示し必要に応じて録画、再生、早送りもできます。 この録画、再生機能を使ってシミュレーションしながら最適なパラメータ値を決めたり計測状況を監視、録画、再生できます。 日本の製鉄所ばかりでなく海外の納入実績もあります。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
光学方式の測定により、素早い反応と安定した測定値
本製品は、海洋・湖沼・河川等の溶存酸素を測定するものです。 高水深での直接測定を可能とした結果、正確な鉛直分布観測を実現。電極内に備えた水温素子により温度補正も万全です。光学方式である為、水の流れが無い場所でも、高精度とハイレスポンスを達成。検出素子の汚れを防ぐ為、洗浄には特殊ブラシを使用した自動洗浄機構を採用しました。
外部の振動の影響を受けずに測定可能、小型・耐環境・堅牢設計の加速度センサです。
加速度センサ(1・2軸 ガスタイプ)は外部の振動の影響を受けずに測定可能、小型・耐環境・堅牢設計の加速度センサです。小型なため、設置場所を選びません。 【主な特徴】 ○測定範囲： ±1, ±2, ±5, ±10G (測定方向の指定可能 X or Y) ○小型・軽量化を追及した加速度センサ ○計測方法：ガスタイプ ○応答周波数はご要望により変更可能 ○加速度センサ、ジャイロセンサと組み合わせが可能 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
サブナノメートル分解能・最大10 kHz帯域。ウェーハ位置制御に最適な非接触静電容量センサー
半導体製造では、ウェーハステージや精密位置決め機構のわずかな変位や振動が、加工精度や製品歩留まりに大きく影響します。微細化が進む半導体プロセスでは、ナノメートルレベルの変位を高精度に測定することが重要です。 D-510 PISecaは、静電容量方式による非接触変位測定を採用した高分解能センサーです。サブナノメートル分解能と最大10 kHzの高帯域測定により、ウェーハステージの微小変位や装置振動を高精度に検出し、半導体製造装置における位置制御の高精度化とプロセス安定化に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハステージの位置フィードバック ・半導体製造装置のナノ位置制御 ・ウェーハ表面の振動測定 ・精密アライメントシステム ・半導体検査装置 【導入の効果】 ・ナノレベルの高精度変位測定 ・非接触測定によるウェーハへの影響低減 ・装置振動の高精度モニタリング ・半導体プロセスの安定化と歩留まり向上
重量物を運搬する場合、天井クレーンに後付けレーザー距離センサーで位置情報を測定し座標管理により衝突を避ける制御が実現。
重量物をクレーンを用いて人がスイッチを持ちながら運搬する場合、運搬物同志、運搬物が工場内の設備と、または人と接触する場合が起こり、損失が発生する可能性が多く存在します。そこで、既設のクレーンにレーザー距離センサーを後付けすることにより、運搬物の位置が座標管理可能になり、衝突が、接触が大幅に低減されます。 -40℃から動作しますので、冷凍倉庫での使用も可能です。 測定精度 1mm、測定繰り返し精度 0.3mm、測定スピード 250Hz（最速）、動作温度 -40℃～ となっており、クレーンのモーター制御で十分な位置決め精度が確保可能です。 当社では、使用方法、導入、コントロールソフトの開発、設置後のサポート等、技術サポートも万全です｡ ご心配な点等御座いましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
