更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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最小分解能0.02μm！非接触で厚み・高さ・平坦度の変位を良くてい。小形ガラスの段差測定・大型ガラスの形状測定に最適
非接触だからできる様々な測定。校正は基準ゲージで簡単に出来る！比較測定のため使い勝手が良い。厚み･高さ･平坦度の変位を再現良く測定。ご希望に合った分解能・サイズを実現します。光学測定機器での測定が困難なものにも適しています。お気軽にお問合せ下さい。詳しくは、カタログをダウンロードして下さい。
置くだけ・かんたん・高分解能センサ
１．業界No.1の測定分解能1/1000λrms＠3σ 信頼性が高く安定した測定結果が得られます。測定品質の向上によりお客様の製品品質・歩留まり向上に繋がります。 ２．優れたコストパフォーマンス 高精度な波面センサをお手軽価格でご提供します。空気揺らぎや振動に左右されずに測定できます。（除振台や恒温室等の設備不要）
問題を解決する技術 MIR光学式センサー
プロセス用光学式溶存二酸化炭素（DCO₂）センサーは、MIR光学式センサーを使用し、DCO2をMIR波長（中赤外線）とCO2拡散膜の組み合わせにより溶存二酸化炭素CO2を直接測定します。 これにより従来にない高い信頼性と再現性の良い測定をインラインにて行えます。 センサー本体は校正されて出荷されるため、滅菌後すぐにご使用いただけます。また交換部品がないため、二酸化炭素フリーガス及び100%二酸化炭素ガスによる二点校正・調整によりご使用いただけます。 寿命は最大3年程度になります。感度劣化時はセンサー本体の交換になります。
薄くて曲がる温度センサー！厚み10μmでフレキシブルで高感度な素子を実現。熱容量が小さく温度の変化にすばやく応答。
■概要 耐熱フィルムと薄膜でつくった薄型熱電対です。 測定したいものにあわせて、形状や測定点の位置や数などをカスタマイズできます。
固定盤(プラテン)などの平面にひずみ測定に
射出成形機、ダイキャストマシン、プレス機などの型締時などに発生するタイバー固定盤（プラテン）のひずみを測定することができます。 センサーはマグネット固定式を採用しており、付属の脱着工具で簡単に設置可能なため、設置面の追加工は不要です。
安定したデータを低コストで実現
センサーヘッドとコントローラーが分離しているため多様な測定に対応。また、パソコンから直接制御、そしてデータ取込が可能。
成形機の型締時などに発生するタイバーのひずみ（伸び）量を測定可能！
センサー部の固定はマグネット式を採用しており、タイバーへの追加工などは必要なく、またタイバー径を選びません。必要に応じて型締力の測定やタイバーのバランス調整を行う場合などの測定用途に適しています。
傾斜、高さ測定がたった一台で測定可能、コントローラーはヘッドに内蔵
開発の背景 オートコリメータ方式の傾斜測定に加え、変位測定を同時にできないか？そんなお客様のご要望から開発した変位チルトセンサ。 この製品をセンサヘッドとプロセッサユニットを一体化、さらに軽量小型化することで装置への組み込みを簡単にした使いやすい製品を開発いたしました。 特長 ・三角測量とオートコリメータの測定方式を一つに ・センサとプロセッサ一体型さらに高速測定（1K データ/s） ・変位と傾斜の同時測定【特許第5330114号】
摩耗のない測定収集、安定した形状の方向羽板！堅牢な筐体の小型経済型センサーをご紹介！
『OSK 50MN112』は、簡単な取付で、高柔軟性を提供する 風向/風速センサーです。 負荷の高安定性、耐久性を実現するために、陽極酸化処理した アルミ筐体のような堅牢な材質を使用。 細くて流線型の形状は、確実、正確な測定を可能にします。 【特長】 ■摩耗のない測定収集 ■堅牢な筐体 ■安定した形状の方向羽板 ■破壊防止型カップロータ ■二重のロールベアリング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フランジタイプ リアクショトルクセンサ 0-10～0-20 000 N・m トルクセンサ DF-30 非回転 貫通穴付 。
フランジタイプリアクション トルクセンサー リアクショントルク 0-10～0-20 000 N・m 非回転 貫通穴付 高いねじり剛性 精度: 0.1%FS 性能の特徴 ・ トルク測定用のトルク測定フランジ ・ リアクション(反応)又はねじれ測定 ・ フランジ フランジ ソリューション ・ 短い軸長 ・ 取り扱いと組み立てが簡単 アプリケーション ・ プロセス測定および制御技術 ・ 全自動マシニングセンター ・ 測定および制御装置 ・ ツールエンジニアリング ・ 特別な機械工学
多種多様な材料の厚み測定、広い測定レンジから加工中と加工前後を1台で対応！ウエハ検査用途にも。
プレシテックの2ITシリーズは、分光干渉法を利用した非接触の厚み測定用センサでです。 高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ・フィルム・コーティング・エアギャップなどの 厚み測定・検査などに使用されています。 不純物/ドープウエハの測定も可能です。 その他の特長は、幅広い測定範囲 、大きな許容角度、様々な材質に対応できることです。 稼働ステージによるスキャンをせずに、面での測定が可能なエリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムの厚みモニタリング/In-Situ/インライン検査でも使用されています。 また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。 【アプリケーション】 ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/コーティング厚み測定、ガラスウエハ肉厚検査、ＴＴＶ，厚み分布、PCBコーティング厚み、バッテリー用ホイル厚み、ガラス厚み/、エアギャップなど。
最大500mまでの距離を精度±１mmで測定可能！ 最大測定レート250Hｚ/IP65準拠/+60℃の環境でもOK
『D-シリーズ」は、高速測定 250Hzを実現した高精度・小型軽量レーザー距離センサーです。 当製品は、IP65準拠しており-40℃～+60℃の環境でも測定可能。 さらに、99台まで同時接続することができます。(RS422/RS485) 当社では、使用方法、導入、コントロールソフトの開発、設置後のサポート等、技術サポートも万全です｡ ご心配な点等御座いましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■高速測定 250Hzを実現 ■100m測定(専用反射板使用時500m) ■350ｇの小型軽量（140ｘ78ｘ48ｍｍ） ■測定温度使用 -40℃~+60℃ ■各種インターフェースに対応（PROFINET/EtherNet/EtherCAT） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※当社のレーザー距離センサーの旧シリーズ（ DLS-C FLS-Cシリーズ）は在庫がなくなりましたので販売終了しております。
最大500mまでの距離を精度±１mmで測定可能！ 最大測定レート250Hｚ/IP65準拠/+60℃の環境でもOK
『D-シリーズ」は、高速測定 250Hzを実現した高精度・小型軽量レーザー距離センサーです。 当製品は、IP65準拠しており-40℃～+60℃の環境でも測定可能。 さらに、99台まで同時接続することができます。(RS422/RS485) 当社では、使用方法、導入、コントロールソフトの開発、設置後のサポート等、技術サポートも万全です｡ ご心配な点等御座いましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■高速測定 250Hzを実現 ■100m測定(専用反射板使用時500m) ■350ｇの小型軽量（140ｘ78ｘ48ｍｍ） ■測定温度使用 -40℃~+60℃ ■各種インターフェースに対応（PROFINET/EtherNet/EtherCAT） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※当社のレーザー距離センサーの旧シリーズ（ DLS-C FLS-Cシリーズ）は在庫がなくなりましたので販売終了しております。
ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応
『CHRocodile 2DWシリーズ』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。ドープウエハ測定にも対応でき、インラインでも適用可能で、多くのお客様へ実績があります。サファイア、Si、SiC等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。干渉膜厚最大16層まで対応しています。 【特長】 ■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜（数um)～厚膜(780um)までカバー。ドープウエハ対応。 ■高分解能（サブミクロン 最小1nm） ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 ■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ウエハーセンスは装置改善に好適な測定器です。客観的な測定を行い、改善効果のある数値パラメータを簡単に取得出来ます。
ウエハーセンス(WaferSense)（サイバーオプティクス（CyberOptic） 社）はプロセス装置の調整を効率良く行う便利な測定ツールです。客観的で信頼性の高いデータをベースに高精度な装置セットアップを行う事が可能です。ワイヤレスでウエハライク形状、真空中でも使えるので、誰でも簡単に再現性のある結果を提供します。ロボットティーチングを行うカメラウエハー、シャワーヘッド調整を行うギャップ測定ウエハー、さまざまな装置のレベル出しに使う水準測定ウエハー、振動用測定ウエハー、装置内部のパーティクルをモニタリングするパーティクル測定ウエハーの5種類があります。付属のソフトウェアを使って、センサーとの交信をワイヤレスに行う事が可能となり、リアルタイムなLOGデータの取得とフィードバックが出来ます。ウエハセンスを使う事で装置パラメータの標準化や比較、解析にも役立ちます。
