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ダイシングの問題点を解決！先進的プロセス技術により生産性の向上に貢献
『7120/7130シリーズ』は、2 及び4 の低振動スピンドル装置で、 ご要求に対し納得の行く使い勝手と柔軟性を提供します。 ターンテーブルが高いトルクと高い精度（1ミクロン）を有しています。 X軸の動程が長く、ロード/アンロードを容易にします。 また、独特のアルゴリズムによってブレード平均消耗時間に基づき、 従来の方法の1/3までブレードの消耗率を予告し、時間当り生産量を 高めることが可能です。 【特長】 ■多数個パネルダイシング ■高分解能カメラ（2000×2000ピクセル）を搭載 ■ロード、アンロードが楽にできる ■メンテナンスが容易 ■お客様特別仕様のプロセスに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダイシング時間を最適化！歩留まり向上とコスト削減に貢献する単一スピンドル！
『7900 Uno』は、オートマチック、単一スピンドルのダイシング装置です。 「model 7910」は、スピンドル2 、サイズ8 で構成されています。 使い易い、知覚的、GUIベースタッチスクリーンを採用。 設置面積が小さくコンパクトなうえ、維持が容易です。 切断面検査と品質分析や工程データ収集と統計分析などが行えるほか、 7900二重スピンドル装置との互換技術を有しています。 【特長】 ■所有経費が低い ■設置面積が小さくコンパクト ■高信頼性・高精度 ■ダイシング時間の最適化 ■歩留り向上とコスト削減機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
加工効率アップ。高精度・低コストでダイシング加工。操作性もバツグン
ADT社製『8020シリーズ』は、直径8インチまでの半導体ウエハを 高精度かつ低コストで切断できる全自動ダイシング装置です。 互いに向かい合うように配置されたツインスピンドルにより、 同時ダイシングが可能。加工の高効率化に貢献します。 メイン画面用・保守用の2つのタッチスクリーンを採用。 直感的に操作できるユーザーインターフェイスを備えています。 【特長】 ■3 O.D.までのハブ/ハブレスブレードをサポート ■1.8kWまたは2.4kWの高出力スピンドル ■連続ズームを備えた優れたビジョンシステム ■高速自動アライメントと切断位置決めによりスループットを向上 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
連続ズーム倍率を備えた優れたビジョンシステム！2つのタッチスクリーンを備えたツインダイシング装置
ADT社製『8030シリーズ』は、直径12インチまでの半導体ウエハを 高精度かつ低コストで切断できるツインダイシング装置です。 互いに向かい合うように配置されたツインスピンドルにより、 同時ダイシングが可能。加工の高効率化に貢献します。 メイン画面用・保守用の2つのタッチスクリーンを採用。 直感的に操作できるユーザーインターフェイスを備えています。 【特長】 ■ブリッジタイプのフレーム ■柔軟性－最大3インチ外径のハブおよびハブレスブレードをサポート ■デュアル顕微鏡、固定非接触センサーと2つのドレスステーション ■1.8kWまたは2.2kWの高出力のスピンドル ■連続ズーム倍率を備えた優れたビジョンシステム ■大型の19インチタッチスクリーンモニターを使用した直感的な操作インターフェース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
複数サイズのウェハに対応！誘導結合プラズマを使用したBosch法によるダイシング
『MDS-100/MDS-300』は、誘導結合方式を用いることで、高出力プラズマによる 安定性、均一性に優れた25枚連続処理が可能なプラズマダイシング装置です。 高い均一性を保ちながら、ソーやレーザのようなウェハへのダメージを 発生させずに処理を行うことが可能。 高速ガス切り替えシステムを用いたBosch法によって、優れた側壁形状および 自由な形状での加工を実現し、既存の手法と比較して優れたダイ強度を 提供いたします。 【特長】 ■ダイの品質/歩留まり/ダイ形状の自由度向上に優れた処理能力で貢献 ■複数サイズのウェハに対応(MDS-100：φ4 ～8 MDS-300：φ8 ～12 ) ■誘導結合プラズマを使用した、Bosch法によるダイシング ■高速ガス切り替えシステムにより、高速で安定したステップ切り替えを実現 ■パラメータのモーフィング及びその変動傾向を設定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ガラス板やPCBへ応用可能！24 ×18 までの大判パネルダイシング！
『ATD Model 7100 XLA』は、24 ×18 までの大判パネルダイシング装置です。 チャックはユーザ仕様、クランプあり/なしに対応するほか、 テープあり/なし処理が可能です。 ロード・アンロードが簡単。メンテナンスも容易に行うことができます。 モニターは回転式で調整可能、USBハブ付です。 【特長】 ■24 ×18 までの大判パネル ■応用：ガラス板、PCB、銅付FR4、QFNなど ■チャックはユーザ仕様 ■クランプあり/なし対応 ■テープあり/なし処理 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
開発から量産へ！効率的なウエハ運搬や迅速正確な位置合わせにより生産性アップ！
『7220シリーズ』は、難しいダイシングで求められる生産性と品質に合致する 高度な自動化とプロセス監視機構を広く提供する省スペースな完全自動化装置です。 効率的なウエハ運搬装置での流れ作業をはじめ、迅速正確な位置合わせや ブレード磨耗予告アルゴリズムで高さ測定時間を短縮し、生産性を高めます。 専用のドレスカセットで自動ブレード研磨が行えるほか、 タッチパネルディスプレーで操作性にも優れています。 【特長】 ■効率的なウエハ運搬装置による流れ作業 ■連続的なデジタル画像拡大装置で迅速正確な位置合わせ ■ブレード磨耗予告アルゴリズムで高さ測定時間を短縮 ■噴霧式ウエハ洗浄技術ですばらしいプロセスの成績を残す ■組込み済みの検査トレーでプロセス中の品質評価を実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
対面する2基のスピンドルで同時ダイシング！生産性を倍増させる高性能な装置！
『7900 Duo』は、二つの対面するスピンドルを備え、同時にウェーハを ダイシングして生産性を倍増するダイシングソーです。 ダイシングソーは前面搭載のスピンドルに固定されており、熱による影響を 除去しカット位置ズレを防ぎ、結果として歩留まりを増大させます。 また、小さな設置面積と高い生産性と自動化を組合せ、費用の低減から 所有コストの引き下げとなり、結果として製品当りのコストの低減が計れます。 【特長】 ■2基の対面スピンドルで同時ダイシングを実行 ■低震動の台座 ■素早い自動位置合わせとカット位置決めで生産性を向上 ■小さな設置面積で所有コストを低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
