ダイシングの問題点を解決！先進的プロセス技術により生産性の向上に貢献
『7120/7130シリーズ』は、2"及び4"の低振動スピンドル装置で、 ご要求に対し納得の行く使い勝手と柔軟性を提供します。 ターンテーブルが高いトルクと高い精度（1ミクロン）を有しています。 X軸の動程が長く、ロード/アンロードを容易にします。 また、独特のアルゴリズムによってブレード平均消耗時間に基づき、 従来の方法の1/3までブレードの消耗率を予告し、時間当り生産量を 高めることが可能です。 【特長】 ■多数個パネルダイシング ■高分解能カメラ（2000×2000ピクセル）を搭載 ■ロード、アンロードが楽にできる ■メンテナンスが容易 ■お客様特別仕様のプロセスに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップと特長】 ■7122 ・前面装着の2"エアベアリングスピンドル、60krpmで1.2KWまでDCブラシレスモータで閉回路速度制御を行う ・2"～3"ハブ及び円形ブレードと互換 ・8"×8"製品までカバー ■7132 ・前面装着の2"エアベアリングスピンドル、60krpmで1.2KWまでDCブラシレスモータで閉回路速度制御を行う ・2"～3"ハブ及び円形ブレードと互換 ・12"までの円形製品、フレーム付きの12"×9"角型サブストレート或はフレームなしの12"×12"チャックまでカバー ■7124 ・4"高出力エアベアリングスピンドル、30krpmで2.5KWまでDCブラシレスモータで閉回路速度制御を行う ・4"及び5"の円形ブレードと互換 ・8"×8"製品までカバー ■7134 ・4"高出力エアベアリングスピンドル、30krpmで2.5KWまでDCブラシレスモータで閉回路速度制御を行う ・12"円形製品或はフレーム付き12"×9"角型材料或はフレームなし12"×12"チャックをカバー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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