精密部品 ピンチャック
ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物（シリコンウェハ等）を固定するために用いられます。
ピンチャックとは、上部に無数の突起を作り、その間を真空にすることで板状の品物（シリコンウェハ等）を固定するために用いられます。 本製品は30mm×1300mm×1300mmと薄くて大きな加工物ですが、上面全体の平面度公差が0.01～0.03mmと、非常に高い精度が求められています。
チャック(ウェハ) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
更新日： 集計期間:2026年04月22日～2026年05月19日
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チャックの製品一覧
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チャック『角型面発光ポーラスチャック』
吸着面がバックライトの様に発光
光源を内蔵することにより、発光機能を追加したポーラスチャックです。 吸着面がバックライトの様に発光する機能を搭載し「吸着固定＋発光」が可能となります。
- 企業：株式会社吉岡精工
- 価格：応相談
株式会社クリエイティブテクノロジー 会社案内
くっつける技術、制御する技術、モニタリングする技術を開発！設計から製造まで一貫対応
クリエイティブテクノロジーは、「くっつける技術」で未来を創る会社です。 半導体製造装置の部品メーカーとして、静電チャックをはじめ、ヒーターや ウェハステージまで、設計から製造まで一貫して対応。 その技術の一部は、半導体業界だけでなく、ガラスやフィルムの搬送用途 などに応用され、FPD業界などその他の産業でも注目されています。 さまざまな可能性のある当社の技術を、どうぞ幅広くご用命ください。 【主な事業内容】 ■静電チャックおよび周辺技術の開発・製造・販売 ■その他吸着搬送機器の開発・製造・販売 ■静電チャック用電源およびセンサーの開発・製造・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社クリエイティブテクノロジー
- 価格：応相談
チャック『ポーラスチャック』
さまざまな産業分野の機械・装置での確実で安定したワークの吸着固定を実現します
『ポーラスチャック』は、主に半導体製造工程でダイシングソーやボンダー、 検査装置に組み込まれる部品です。 テーブル表面のポーラス(多孔質)構造と負圧を利用することで、薄い シリコンウェハ等を平面保持することが可能。お客様ごとの仕様・要望に 合わせて適した材質、形状を検討し、都度カスタマイズする”一品物”として 製造します。 また、+αの機能を持たせたユニット品として「HoVaC」や 「面発光ポーラスチャック」等、多彩なタイプをご用意いたします。 【特長】 ■安定吸着 ■多種多様なポーラス体 ■高精度・高品質 ■平面度3μm以下 ■MADE IN JAPAN ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社吉岡精工
- 価格：応相談
半導体製造装置用静電チャック
半導体製造装置向け静電チャックです。 大気～高真空 極低温～高温-100～200℃で運用が可能です。導体~絶縁体基板 吸着可能
半導体製造装置内で運用する静電チャックです。 大気～高真空 極低温～高温-100～200℃で運用が可能です。また 導体~絶縁体基板まで幅広い材質が吸着できます。 ・Si 化合物半導体 サファイヤ 水晶 LT LN 半導体向け基板 導体から絶縁体まで吸着が可能です。 ・接着剤フリーの為 極低温領域-100℃でも運用が可能です。 ・弊社特有技術 ワークと静電チャック接触界面のみで保持力が働くため、裏面側の影響をうけません(裏面帯電等の影響なし）
- 企業：筑波精工株式会社
- 価格：応相談
ワークへ負担減、把持・搬送手段の新提案！静電チャック【貸出可能】
クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用されています
『ポリイミド静電チャック』は、摩耗によるパーティクルの発生が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社クリエイティブテクノロジー
- 価格：応相談
チャック『１２インチポーラスチャック』
１２インチポーラスチャック
全自動半導体構造装置（主にダイシングソー）に使用されるポーラスチャック。 全自動半導体製造装置(主にダイシングソー)に使用されるポーラスチャックです。"ウェハーの取り出し→アライメント→切断→洗浄/乾燥→ウェハーの収納"までの工程を全自動で行うタイプのダイシングソーなどで使用されます。 洗浄や乾燥工程でウェハーをポーラスチャックごと回転させるためポーラスチャック外周には余計な突起などは付いていません。
チャック『ホットバキュームチャック(HoVaC)』
吸着しながら加熱・冷却実験が可能！ローコスト化を実現する真空チャック
「ホットバキュームチャック(HoVaC)」は、機能を一体化した上で、ローコスト化を実現します。 ポーラスの作業面全体に対し、一定かつ安定した加熱・冷却を実現しながら、ワークをしっかりと吸着可能。 加熱したままでのウェハーの通電耐久テストに使用できます。 【特徴】 ○加熱冷却の繰り返しで耐久試験などにも最適 ○ポーラスチャックをネジ止めするだけのシンプル構造 ○6、8、12（丸型）、□150、□200、□250角型に対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
チャック『加熱・冷却機能付きポーラスチャック』
吸着しながら、加熱・冷却実験が可能！！
吸着しながら加熱実験（プローブ実験、加熱耐久実験等）を行えるユニットとなります。その他、ウェーハマウンターなどにも応用が期待されています。加熱温度としては、最大で２５０℃の加熱ができ、冷却機能を持たせているため、大気冷却より急勾配での冷却を行うことも可能であります。
静電気対策 静電チャック用プロセステープ STチャックテープ
ガラスウェハーを静電チャック！ 優れた導電性能・耐薬品性能・耐熱性能！
当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した導電性耐熱保護テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能。MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することからウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。 《特長》 〇従来の半導体設備で転用可能 〇透明性が高く、フィルムの上から画像認識が可能 〇低アウトガス、低イオンコンタミによりプラズマ工程も安心して使用可能 〇基材・粘着剤が耐熱・耐薬品性を有しているため、ベーキング・薬品洗浄などで使用可能 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：アキレス株式会社 工業資材販売部
- 価格：1万円 ~ 10万円
