センタリング組立セル センタリングメカチャック
センタリング組立セル
本装置は、多種少量の微小部品組み立て用に開発された、使い易い組み立てセルです。 組み立てする部品を予備ステージより、順次吸着し、センタリングメカチャックにより、 中心正に位置決め、順次組み立てします。作業中に顕微鏡観察、デイスペンサー、等を 組み合わせれば、接着剤、ペースト、等の自動塗布も可能です。
- 企業：三和システムエンジニアリング株式会社
- 価格：応相談
チャック(真空チャック) - 企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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製品一覧
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高精度多孔質セラミックス真空チャック『エアロフィックス』
極薄基板などワークの防汚課題を解決！フィルムなどデリケートな薄物ワークに好適
『エアロフィックス』は、吸着面の一部しかカバーしない精細部品などの ワークにおいてもしっかり固定できる部分吸着を実現した高精度多孔質 セラミックス真空チャックです。 ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応。 ワークごとに形式やサイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と 作業効率向上を実現します。 また、ワークは浮上ユニットで浮きあがるとともに、軽微な力で 吸着盤上を自在に動かすことが可能です。 【特長】 ■静電気防止材料 ■部分吸着可能 ■ワークの汚染リスクを低減 ■高性能・高精度な均一吸着力 ■省スペースを実現 ■既存装置に置くだけ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：日邦産業株式会社
- 価格：応相談
ベルヌーイチャック（接触タイプ）
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャック。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。 基板に対してベルヌーイの力でワークを吸引します。 搬送時のズレを防止する為にフリクションゴムの摩擦力で保持します。 チャック側の面は接触をしますが、ウェーハサイズが異なる場合に兼用（※組合せにより、できない場合があります）することができ、非接触タイプと比較してチャックの厚みを薄く作ることが可能です。 吸引がベルヌーイの為、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウェーハに有効です。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
ウエハホットチャック「PH-101T」
貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！
「PH-101T」は最高温度300℃対応でウエハ、ガラス基板など 極薄のワークを均一に加熱できる小型ウエハホットチャックです。トッププレート構造により、プレートの交換で数種類のワーク対応が可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。また、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズができます。 ホットチャックのステージへの固定方法などもカスタム対応いたしますので、お気軽にご相談ください。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
ウエハホットチャック「PH-101TIN」
貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品！
「PH-101TIN」は最高温度300℃対応でウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱できる小型ウエハホットチャックです。トッププレート構造により、プレートの交換で数種類のワーク対応が可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。また、MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能です。サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズができます。 ホットチャックのステージへの固定方法などもカスタム対応いたしますので、お気軽にご相談ください。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
ウエハホットチャック 「PH-201C」
トッププレートの交換により、さまざまなワークに対応可能です。
ウエハホットチャック 「PH-201C」は、小型で、ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。 サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能。 貴社の試験システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応いたします。 【特徴】 ○最高温度 400℃ 対応 ○トッププレート構造で、プレートの交換により数種類のワーク対応可能 ○MSA デジタル温度コントローラーにて精密温度制御が可能 ○圧力計、真空切り替えバルブ付など豊富な品揃え ○OEM対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
吸着テーブル ポーラスカーボンチャック
ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンターなどの用途に最適
「ポーラスカーボンチャック」は、テーブル表面にカーボンポーラスを使用した吸着テーブルです。多孔質体の為、ワーク全面で吸着可能で、フィルム等薄い材質でも吸着可能です。また、耐酸性、耐薬品性が必要な場所での真空吸着も可能です。さらに、導電性がある為、帯電を嫌う装置での真空吸着が可能です。各種サイズ、形状に対応可能です。ワークは200mm/300mm/450mmウエハー、ガラス基板、フィルムになります。ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンター、スピン洗浄装置、その他半導体製造装置、各種検査装置、印刷関連装置に適しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
ベルヌーイチャック（非接触タイプ）
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応したベルヌーイチャックです。
反りのあるウェーハ、薄物ウェーハに対応し、コストパフォーマンスに優れたベルヌーイチャックです。 弊社の大気環境用搬送ロボットであればどのタイプのロボットにも搭載可能です。 サンプルウェーハによる検証を行い、お客様の任意の形状で各種サイズ、反り量、ウェーハ厚みに対応した設計を行います。 基板に対してベルヌーイの力でワークを引きつけます。 搬送時のズレを防止する為にエッジ部のガイドでズレを制限します。 エッジ以外は接触をしないで浮上しています。 ひとつのチャックでひとつのサイズのウェーハとなります。 引きつける力がベルヌーイの為、真空吸着チャックよりも広いエリアに力がかかり、薄物ウェーハに有効です。 また、表裏の両面に対して非接触となるので、接触ができないウェーハに対しても有効です。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
PBNヒータ＆静電チャック
1000℃以上の超高温でも優れた寸法安定性と温度再現性を実現！先端技術使用のＰＢＮとＰＧの複合体
Momentiveの『PBNヒータ』と『高温静電チャック(ESC)』は、 電気絶縁性の熱分解窒化硼素（PBN）と導電体である熱分解黒鉛（PG） の先端技術を使用した複合体です。 高純度で、高温下でも脱ガスが非常に少ない特長は、 高温での化学的気相蒸着から生み出されています。 高い熱伝導性と異方性は優れた面内均熱性をもたらしています。 【特長】 ■超高温対応（1500℃） ■寸法安定性と電気的安定性 ■ヒータ面内で温度勾配をつけることができる ■急速昇降温に対応 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
爪チェンジャー付2方チャック
クローズ側把持専用モデル！爪の段取替えにより多品種ワークに対応可能
『爪チェンジャー付2方チャック』は、ワークを把持するレバー(爪)部の 交換が可能な2方チャックです。 自由にご使用いただけるサービスポートの利用で、真空パッドの取付や、 複数の取付穴を用意していますので、別アクチュエータの取付など、 1つのハンドでさまざまなシチュエーションに対応。 また、 2方チャックのクローズ動作、オープン動作が検出可能な 「オートスイッチ」もご紹介しております。 【特長】 ■爪部は各ポートのエア制御により片側毎の交換も可能 ■高い汎用性：マルチハンド化などお客様での拡張も可能 ■高精度・高剛性 ■オートスイッチ取付可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：藤川伝導機株式会社
- 価格：応相談
加熱・冷却機能付きポーラスチャック
吸着しながら、加熱・冷却実験が可能！！
吸着しながら加熱実験（プローブ実験、加熱耐久実験等）を行えるユニットとなります。その他、ウェーハマウンターなどにも応用が期待されています。加熱温度としては、最大で２５０℃の加熱ができ、冷却機能を持たせているため、大気冷却より急勾配での冷却を行うことも可能であります。
- 企業：株式会社吉岡精工
- 価格：50万円 ~ 100万円
カスタマイズ静電チャック
把持対象物や用途、環境に応じて好適な静電チャックの提案が可能です。
当社は、総合静電チャックメーカーとしてお客様のご要求に応じた製品を 提供するため様々な材質の静電チャックを開発、製造、販売しています。 ご使用される環境と製品に求められる機能を把握し、当社の開発と 設計技術により、好適な製品仕様を提案。 また、高度な製造技術を駆使した高性能、高機能な製品を提供します。 【オプション対応例】 ■ヒーター内蔵 ・ステージ基材製造技術と薄型ヒーター製造技術を静電チャックと 融合させることで、高精度の温度制御が可能 ■高温対応 ・静電チャック材質にALNセラミックを使用することで、～500℃の 高温環境での使用が可能 ■異常放電対策 ・当社ノウハウにより、ガス穴周りに発生し易い異常放電対策が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社クリエイティブテクノロジー
- 価格：応相談
ウエハホットチャック PH-201 XYステージ搭載タイプ
サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能！
ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。最高温度は300℃ 対応可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。手動簡易XYステージとの組合せにより、検査ステーションを低予算で構築できます。 MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御も可能です。OEM対応もいたします。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社MSAファクトリー
- 価格：応相談
二次元ERコレットチャック FT-CHM-ER40
DIN規格のERコレットを使用してワークを把握するタイプの二次元ERコレットチャック
●チャック部：ERコレット ●ERコレットは付属していません ●目盛がついているため設定可能角度に関単に設定できます ●水平方向の360°回転可能 45°垂直方向に傾斜可能 ●バーニア最小目盛：5分 ●スイベル本体副尺：5分
- 企業：株式会社ファーステック
- 価格：10万円 ~ 50万円
非接触チャック
ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の非接触チャック
ソーラーリサーチ研究所の垂直気体噴流方式の「非接触チャック」は、空気をガラス基板に向かって噴出することにより、ガラス基板を空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持し、搬送することができます。 ●多種多様のワークに対応 ユーザーの業種は、半導体、FPD、偏光板、フィルム、光学、エレクロニクス、紙、繊維と多方面にわたり、納入実績は数百件に達している。 ワークの大きさは数mm角チップ/レンズから数m角ガラス、厚さも数μmのものもある。性状も反りのある ウエハ、スルーホール、通気性、柔軟性のあるワーク、表面塗布したワークと多種多様である。
- 企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
- 価格：応相談
